陶瓷球表面类金刚石碳膜均匀沉积机构设计及运动仿真.docVIP

  陶瓷球表面类金刚石碳膜均匀沉积机构设 计及运动仿真  张传伟 1，荆翠妮 1，古乐 1，马欣新 2 * （1. 哈尔滨工业大学机电工程学院，哈尔滨 150001； 2. 哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室，哈尔滨 150001） 摘要：在 Si3N4 陶瓷球表面沉积低摩擦因数的类金刚石碳膜，可以进一步降低陶瓷球轴承的 摩擦因数。为了在陶瓷球表面均匀沉积类金刚石碳膜，设计了三沟道单自转盘和三自转盘两 种镀膜机构，并且对陶瓷球在工装中的运动进行了仿真，在此基础上讨论了两种机构的镀膜 均匀性。三沟道单自转盘镀膜机构的镀膜均匀性较好，该机构能在陶瓷球表面沉积均匀的类 金刚石碳膜。 关键词：轴承；摩擦；沉积；碳膜；陶瓷材料；机械设计；计算机仿真 中图分类号：TH133.33+1 文献标志码：A  Mechanism design and simulation to uniformly deposit diamond-like carbon films on ceramic ball surface Zhang Chuanwei1, Jing Cuini1, Gu Le1, Ma Xinxin2 (1. School of Mechatronics Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin, 150001 China; 2. State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining, Harbin Institute of Technology, Harbin, 150001, China) Abstract: The friction coefficient of a bearing with Si3N4 ceramic balls can be reduced by depositing a diamond-like carbon (DLC) film on the ceramic ball surface. Two mechanisms of a single turntable with three raceways and three turntables are designed to uniformly deposit a DLC film on the ceramic ball surface. The movement of ceramic balls in the two mechanisms was simulated, and the deposition uniformity was discussed. The simulation result indicates that the DLC film can be uniformly deposited on the ceramic ball surface using the single-turntable mechanism. The measurement of DLC films deposited on ceramic balls confirms the simulation result. Key words: bearings; friction; deposition; carbon film; ceramic material; machine design; computer simulation 0 引言 轴承是目前多数机械设备不可缺少的关键零部件。随着科学技术的发展，越来越多的机 构在高速、重载、高温和超低温等苛刻环境下服役，传统的纯金属轴承已经不能满足苛刻服 役环境的要求，对轴承提出了新的挑战。氮化硅陶瓷球轴承是一种新兴轴承种类，具有摩擦 因数低、耐磨损和耐高低温环境等优点[1-2]。通过在陶瓷球表面沉积一层固体润滑膜，可以 进一步降低干摩擦工况下轴承的摩擦力矩，提高轴承的服役特性。类金刚石碳膜是一种性能 优异的固体润滑薄膜，可以把其视为介于金刚石和石墨之间的一种中间结构，具有低摩擦因 数、高硬度和低磨损率的优点[3-5]。制备类金刚石碳膜的方法包括磁控溅射[5]、等离子体基 离子注入[6]、等离子体辅助化学气相[7]和过滤弧离子镀[8]等。 由于球体形状的特殊性，球和工作台接触处及附近区域无法镀膜处理，而且球体镀膜均 匀性较差。目前，在球体表面均匀沉积薄膜的机构设计的相关报道还较少。文献[9]设计了 基金项目：国家自然科学基金(NSF；广东省科技计划项目(2010A070500002)；广东省教育部产 学研结合项目(2010B090400444)；广东省国际合作项目(20