大口径低分辨率干涉图的3维形貌还原方法.pdfVIP

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2017-09-18 发布于广西
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大口径低分辨率干涉图的3维形貌还原方法.pdf

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第35卷第2期激光技术 V01．35，No．2 LASER 1 2011年3月 TECHNOLOGY March，201 文章编号：1001—3806(2011)02—0214-04 大口径低分辨率干涉图的3维形貌还原方法温承华，黄磊，张海涛，邱运涛，巩马理’ (清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室光子与电子研究中心，北京100084) 摘要：为了有效处理大口径干涉仪测鼋过程中得到的低分辨率干涉图，采用一种通过调和处理和3值化等过程的处理方法，对实验获得的大口径干涉仪无法处理的干涉图进行了相位滤波处理并还原了对应的3维形貌，同时与传统 Goldstein方法处理的结果进行了对比。结果表明，该方法提高了低分辨率干涉图的可还原性，为干涉图后续处理提供了有效手段。关键词：图像处理；干涉图；3维形貌还原；相位 1．02．020 中图分类号：TH744．3 文献标识码：A doi：10．3969／j．issn．1001-3806．201 A to methodrestore3-Dsurfaceof area large low and resolution interferogram WEN HANG Ma—li Lei．z Yun—tao，GoNG Cheng—hua，HUANGHai—tao，QIU for Photonicsand of ofPrecisionInstrumentsand (Center Electronics，StateKeyLaboratoryTfibology，Department Mechanology。 Tsinghua 100084，China) University，Beijing the of withlow·resolution method Abstract：For intefferometer，a purposedealing interferogramsacquiredbylarge·diameter 80 was and and on．The couldn’tbe presentedincluding ternary acquiredinterferograms，which homogenization processedby filteredandthe3-Dsurfaceswere withthetraditionalGoldsteinfilter interferometers，were