磁控溅射制备全固态薄膜锂离子二次电池及其性能研究.docVIP

　０３５ 第３卷第３ 　  重庆师范大学学报自然科学版） ＪｒｌｆＣｏｇｇＮｒａＵｉｒｔＮｔａＳｅ）  Ｍｙ２１ Ｖｌ０Ｎ． ＤＩ０１７１ｃｎ２３３３  耿利群１，任　岳１，王定友２，朱仁江１，３，陈　涛１ １重庆师范大学物理与电子工程学院重庆４１３； ２江西机电职业技术学院电气工程系江西南昌３０１； ３重庆大学物理学院重庆４０３） 摘要在ＳＳ０不锈钢衬底上以粉末靶材为溅射靶源 利用射频磁控溅射技术制备出非晶态结构的ＶＯＬＯ和 ＬＭＯ薄膜 并借助扫描电子显微镜ＥＭ测试手段对薄膜的形态进行表征。用此３种沉积的材料依次作为薄膜电 池的负极固体电解质和正极 金属钒则作为集电极 成功制备出全固态薄膜锂离子二次电池。实验结果表明 截止电 位控制在０３４０Ｖ之间测试时 该薄膜电池具有良好的充放电特性经过５０次循环后 其电化学性能趋于稳定 放电容量保持在２６μｈｃ左右采用恒定电流为２μ进行循环性能测试时 首次放电容量达到４４Ａｃ 循环寿命则可达到１５０次以上。 关键词全固态薄膜锂离子二次电池磁控溅射制备电化学性能 中图分类号Ｔ９２９ 文献标志码 　　　 文章编号１７６９２１００１０ 　　随着电子和信息技术产业迅速的发展航空航天 室组成溅射室有５个溅射靶位进样室主要由样品 民用计算机Ｉ卡便携式电话小型情报终端和腕式 库退火炉和反溅靶位构成该系统通过机械泵和分 通信器材等也得到了快速的发展在外观设计和造形 子泵组成两级真空抽取系统本底真空度主溅射室可 形 可 能 重量轻等优点成为了微型器件及高效能源的优良选 择之一［１］。 在 ９．％和 解质材料ＬＯ薄膜以来其已成为制备薄膜电池 ９．％混合成一定的比例作为环境气体射频溅射 的一个极其重要的技术５。由于ＬＭ 具有较高 制作的然而正极ＬＭＯ薄膜和固体电解质Ｌ 的理论能量密度成本低和环境友好等优点其成为了 ＰＮ薄膜则是采用自制的粉末靶材为溅射靶依次在 正极材料最优良的选择之一６７。然而非晶态ＶＯ 高纯氩气９．９ 和高纯氮气９．９ 作为环境 材料因其具有高的比容量和更好的循环性能故其可 气体射频溅射制作的正负集电极薄膜则采用金属 以作为正极材料也可以作为负极材料８。 ｉｎ Ｖ５ 作为负极材料ＬＯ薄膜作为固体电解质材料制 备出了全固态薄膜锂离子二次电池并研究了该薄膜 电池的电化学性能及各层薄膜的形貌。 １实验 全固态薄膜锂离子二次电池的制备是在ＪＰ０ 型多功能超高真空磁控溅射镀膜系统中完成的该系 统由不锈钢真空主溅射室和具有磁力传动机构的进样 图１全固态薄膜锂离子二次电池结构图 收稿日期２１０２ 　修回日期２１０２ 　网络出版时间２１０２１０ 资助项目重庆市科技攻关计划项目Ｎ．Ｔ２０Ａ６３）重庆长安新能源汽车有限公司资助项目Ｎ．Ｔ２１Ａ６１） 作者简介耿利群男硕士研究生研究方向为薄膜锂离子电池Ｅｍｉｇ１３１３ｃｍ通讯作者任岳Ｅｍｉｒｙｅｏｇｎ ｙｈｏｎ 网络出版地址ｈｐ ｗｗｃｋ．ｔｃｓｅｉ５．６．．１０２．０．１０．１０２ｈｍ １２  重庆师范大学学报自然科学版　ｔ：ｗｗ．ｎ．　　　　　　　　　　第３卷 全固态薄膜锂离子二次电池制备步骤如下１在 Ｋ玻璃衬底上溅射沉积成膜来确定每层薄膜的成膜 质量与溅射功率工作气体成分以及压强等溅射工艺 之间的关系测试膜厚和薄膜形貌并利用自行设计的 掩模板来镀膜从而确定单层薄膜的电学特性２在 厚度为００ｍｍ的ＳＳ０不锈钢衬底材料上依次 溅射沉积负极集电极负极固体电解质正极和正极 集电极薄膜其具体制备参数如表１所示 采用台阶仪ＸＡｂｓＴｈｏｇＩ．测定 薄膜的厚度通过扫描电子显微镜ＳＭＪＭ４Ｌ） 观察单层薄膜材料的形貌，并采用电池评测系统 Ｌ ＤＣ２０Ａ表征单体薄膜电池的电化学性能 以上实验测试均在室温下进行。 表１薄膜电池各层薄膜的制备参数 名称 强Ｐ 率Ｗ 间ｓ 厚ｎ Ｖ ０８ １０ Ａ ６０ １０ ＶＯ １２ １０ Ａ∶Ｏ＝∶ ９６０ ２０ ＬＰ４ ０６ １０ Ｎ ２８０ ８０ ＬＭＯ １２ １０ Ａ １８０ ６０ Ｖ １６ ８ Ａ ９０ ２０  图２ＶＯ薄膜表面ａ和断面ｂ的ＳＭ照片 ２结果与讨论 ２１单层薄膜电池材料的表面形貌 全固态薄膜锂离子二次电池是由多层薄膜复合构 成通过研究单层薄膜的制备工艺与功能特性以实现 薄膜电池的性能稳定。 图２ａ是在Ｋ玻璃基片上射频溅射沉积ＶＯ 薄膜表面的ＳＭ形貌照片可以看出薄膜表面非常 均匀光滑没有出现任何晶型结构在图２ｂ薄膜的 断面照片中也可以看出薄膜平滑致密无针孔或裂缝 等缺陷的现象其薄膜与基片的结合也较好通过对 整个薄膜的形貌分析可知在采用磁控溅射技术制备 出的ＶＯ负极薄膜具有非晶态的特征然而负极 薄膜的表面形貌对全固态薄膜锂离子二次电