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气体传感器文献综述 指导老师：胡赤鹰 /word文档/a 控制科学与工程学系 自动化0701班 林增辉 3061101271 一、背景介绍 目前，随着人们环保意识的提高，环境问题日益受到政府和社会的关注。环境问题已经成了重大的民生问题，成为影响人民生活幸福感的重要因素。在一些地方，环境问题已经严重威胁到群众健康。 环境监测是解决环境问题的基础性工作，其目的是准确、及时、全面地反映环境质量现状及发展趋势，为环境管理、污染源控制、环境规划等提供科学依据。 气体检测是环境检测的重要部分，国内各大城市都相继建立了空气质量检测机构，通过电视、互联网等媒体及时向社会发布当地空气质量状况。而一些特殊的工作场所，如化工厂、煤矿、垃圾处理场，对气体的检测有着更高的要求。由于气体的不可见性（大部分气体为无色）和扩散性，气体传感器是气体检测最基础的部分。气体传感器的研究成果，直接影响到气体检测技术的发展。 国内外研究现状 2.1 气体检测仪表 气体检测的目的是分析各种气体混合物中各组分的含量或其中某一组分的含量。气体检测仪表一般由传感器、信号放大、处理单元、显示单元以及控制单元组成，其中传感器是最关键最基础的部分。气体检测仪表的工作原理是根据混合气体中待测气体组分的某一化学或物理性质比其他组分的有较大差别；或待测组分在特定环境中表现出来的物理、化学性质的不同来检测待测组分的含量。因此，气体成分的分析方法基本上都是基于物理式、化学式和物理化学式等原理。 2.2 气体传感器 气体传感器是传感技术中的重要组成部分，能将气体特定成分检测出来，并将其转成适当信号，若与微机结合进行在线监控，会大大提高分析速度和准确度。 自1962年日本研制出第一种可燃性气体传感器之后，气体传感器从理论到应用均得到迅速发展，已广泛应用在各个领域。历次国际性传感器会议中与气体有关的传感器均为重要内容之一。我国有关传感器技术方面的会议召开过多次气体传感器方面报告均占30%以上，多着达40%，气敏元件和气体传感器已成为传感技术中的独立分支。 2.3 气体传感器分类 目前常用的气体传感器可分为：半导体气体传感器、电化学气体传感器、催化燃烧式气体传感器、热导式气体传感器、光学气体传感器等。 2.3.1 半导体气体传感器 半导体气体传感器的检测原理是，当传感器的表面氧化物吸附某些气体时，电导率将发生改变，利用改变的电导率来检测气体及其浓度。 从材料的应用范围、普及程度以及实用性来看，半导体气体传感器应用最为广泛，成本低廉，在气体传感器中约占60%。它的缺点是稳定性较差，受环境影响较大；尤其，每一种传感器的选择性都不是唯一的，输出参数也不能确定。因此，不宜应用于计量准确要求的场所。根据其机理，半导体气体传感器可分为电导型和非电导型，电导型中又分为表面型和容积控制型，表1列出一些半导体传感器。 （1）SnO2半导体是典型的表面型气敏元件，其传感原理是SnO2为n型半导体材料，当施加电压时，半导体材料温度升高，被吸附的氧接受了半导体中的电子形成了O2-、O-或O2，当有还原性气体H2、CO、CH4等存在时，使半导体表面电阻下降，电导上升，电导变化与气体浓度成比例。NiO为p型半导体氧化性气体使电导下降，对O2敏感，ZnO2半导体传感器也属于此种类型。 （2）容积控制型传感器的原理是晶格缺陷变化导致电导率变化，如Fe2O3、TiO2等对可燃性气体敏感。对其原理认识不尽统一，但同样随气体气氛的改变，电导发生变化，并与气体浓度成有关。 （3）热线性传感器是利用热导率变化的半导体传感器，称为热线性半导体传感器。它是在Pt丝线圈上敷涂SnO2层，其中Pt丝除起加热作用外，还有检测温度变化的功能。施加电压后半导体变热，表面吸氧，使自由电子浓度下降，可燃性气体存在时，由于燃烧耗掉氧，自由电子浓度增大，导热率随自由电子浓度增加而增大，散热率相应增高，使Pt丝温度下降，阻值减小，而Pt丝阻值变化与气体浓度有关。这种传感器体积小、稳定、抗毒、可检测低浓度气体，在可燃气体检测中有重要作用。 表1 半导体气体传感器 类型 传感元件 传感材料 可检测气体 电导型 表面敏感型 SnO2+Pd 可燃性气体、CO、氟利昂 AGO、V2O5 金属酞青 容积控制型 Fe2O3 液化石油气、酒精 TiO2、CoO-MgO-SnO2 空燃比控制、燃烧炉气尾气 非电导型 金属-半导体二极管（I-V）特性 TiO2-Pd、TiO2-Pt、CdS-Pd、Ag、TiO2 H2、CH4 气体-敏感金属-MOS二极管（电容） MOS-Pd H2 气体-敏感金属-MOSFET（阀电位变化） MOS-Pd、FET、改进型的MOS-P