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第28 卷 第7 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 28 No.7
2013 年7 月 Journal of Inorganic Materials Jul., 2013
文章编号: 1000-324X(2013)07-0769-06 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2013.12498
V 含量对 TaVN 复合膜微结构、力学性能和摩擦性能的影响
许俊华, 薛雅平, 曹 峻, 喻利花
(江苏科技大学 江苏省先进焊接技术重点实验室, 镇江 212003)
摘 要: 采用磁控溅射仪制备了一系列不同V 含量的TaVN 复合膜, 利用X 射线衍射仪研究复合膜以及磨痕的相组
成, 利用纳米压痕仪表征复合膜的硬度, 采用高温摩擦磨损实验机研究了复合膜的室温和高温摩擦性能。结果表明:
TaVN 复合膜的微结构为面心立方结构, 随着V 含量的增加, 衍射峰择优取向由(200)转变为(111); TaVN 薄膜的显
微硬度随着V 含量增加, 先增加后降低, 在V 含量为 18.25at%时, 显微硬度达到最大值, 为32.3 GPa; 在常温下,
TaVN 复合膜的摩擦系数随着V 含量的增加而降低; 当温度从室温升高到800℃, 薄膜的摩擦系数先升高后降低。
采用晶体化学理论讨论了TaVN 复合膜和TaN 单层膜在高温下的摩擦机理。
关 键 词: TaVN 复合膜; 磁控溅射; 力学性能; 摩擦性能
中图分类号: TG174 文献标识码: A
Influence of V Content on Microstructure, Mechanical and Friction Properties of
TaVN Composite Films
XU Jun-Hua, XUE Ya-Ping, CAO Jun, YU Li-Hua
(Jiangsu Key Laboratory of Advanced Welding Technology, Jiangsu University of Science and Technology, Zhenjiang 212003,
China)
Abstract: A series of TaVN composite films with different V contents were fabricated by magnetron sputtering
technique. The microstructures, mechanical properties, friction properties at different temperatures were investi-
gated by X-ray diffraction, nano-indentation, CSM high-temperature ball-on-disc tribo-meter, respectively. The re-
sults show that the microstructure of TaVN films has fcc structure. With V content increasing, the prefer
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