纳米级长度的电镜测量方法评述.pdfVIP

纳米级长度的扫描电镜测量方法* 评 述 前言 “纳米级长度的扫描电镜测量方法”是由上海测试中心、中国科学院地质与地球物理 研究所、同济大学、中国科学院化学研究所、上海理工大学等单位的张训彪等同志共同制 订的，由全国微束分析标准化技术委员会审查通过。 本标准实际上是扫描电镜测量微米级长度方法的进一步延伸。其基本方法仍是一种比 较测量方法：即先用扫描电镜获得待测样品和纳米级标尺的二次电子像，然后用数字化的 图像或比长仪等测量方法测定照片上标尺图像和被测物体图像中待测的两个特征点之间 的长度，即可计算出被测物体的大小。 应该说，这个长度测量方法的制订具有重要的技术上的意义，首次提出了扫描电镜的 纳米长度测量方法的基本途径。更为重要的是本方法中对测量的不确定度进行了较为深入 的探讨，这是与先前的标准有重要的不同。当然，同样由于国内缺乏必要的分辨力标样和 纳米级长度标准样品，在客观上可能会影响到本方法的贯彻执行。加速研制有关长度标样 和分辨力标样是贯彻执行扫描电镜测长方法的关键。 纳米科技的发展引起了全社会的关注，但纳米测量学的滞后，已成为纳米科技向纵深 发展的障碍。这正如伟大的科学家门捷列夫说过：“没有测量，就没有科学”。 在纳米科技中，纳米测量的作用可以归纳为以下几个方面： a ） 纳米产品的质量检验 b ）纳米科技成果的鉴定 c ）对纳米产品的生产过程进行质量控制 d ）作为纳米产品贸易验货的手段。 e ） 引导纳米科技的研究和应用 f ） 鉴别纳米科技水平的高低 g ）鉴别纳米生产设备的优劣 微米测量是纳米测量的基础，微米测量的国家标准为纳米测量奠定了基础。扫描电镜 分辨力的提高和和高质量的长度标准器具的研制成功，使真正意义的纳米级长度的扫描电 镜测量成为可能。本方法的内容提要见表 1。 __________________________________________ *这里引用的内容为该标准的讨论稿，仅供参考。 表1 内容提要 编号 76 名称 （中文）纳米级长度的扫描电镜测量方法 （英文）Nanometer grade length measuremented by SEM 归口单位 全国微束分析标准化技术委员会 起草单位 上海测试中心、中国科学院地质与地球物理研究所、同济大学、 中国科学院化学研究所、上海理工大学等 主要起草人 张训彪、曾荣树等 批准日期 实施日期 替代规程号 适用范围 本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的方法，适用于测量 10～100nm 的长度 主要技术要求 测量不确定度控制在 5 ％以内 是否分级 否 检定周期（年） 附录数目 5 出版单位 待出版 检定用标准物质 未提及 相关技术文件 备注 本标准是一个纳米级长度的测量标准，其量值可以溯源到长度基准。目前没有相应的 国际标准。 本标准的附录 A～C 为规范性附录，附录 D～E 为资料性附录。 本标准在本文集出版是还在继续修改中，以下是本标准送审稿的主要内容摘录： 1 范围 本标准规定了用扫描电镜测量度的方法，适用于测量 10～100nm 的长度。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件， 其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用本标准，然而，鼓励根据本 标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其 最新版本适用于本标准。