圆筒电极对离子磁电加热的影响.pdfVIP

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 62, No. 1 (2013) 015202 圆筒电极对离子磁电加热的影响* † 马志斌 沈武林 吴俊 严垒 汪建华 ( 武汉工程大学材料科学与工程学院, 湖北省等离子体化学与新材料重点实验室, 武汉 430073 ) ( 2012 年4 月23 日收到; 2012 年7 月31 日收到修改稿) 高效的磁电加热不仅能够提高电子回旋共振(ECR) 等离子体的离子温度, 还能改善离子的径向和轴向分布, 促 进ECR 等离子体在化学气相沉积金刚石膜刻蚀中的应用. 将磁电加热系统中的圆环电极改进为圆筒电极, 研究了 圆筒电极对离子磁电加热的影响, 对比了圆筒和圆环电极加热离子的区别. 结果表明: 在同一阳极偏压下, 圆筒比圆 环电极更有利于提高离子温度, 圆筒电极加热时各径向位置的离子温度升高的幅度较大, 其中圆筒电极内部的离子 温度径向分布差异较大, 而圆筒下游的离子温度径向分布比较均匀; 磁电加热对离子密度的影响很小; 采用圆筒电 极加热时, 有利于离子向轴向下游的输运, 改善了离子的轴向均匀性. 关键词: ECR 等离子体, 磁电加热, 离子温度 PACS: 52.50.b, 52.50.Nr, 29.27.Eg DOI: 10.7498/aps.62.015202 极加上阳极偏压后所产生的径向电场对等离子体 1 引言 的约束有限, 部分离子在向轴向下游的输运过程 中, 很容易碰撞腔壁而损失, 这对于微波ECR 等离 利用磁镜场电子回旋共振(ECR) 等离子体源 子体的应用是不利的. 在本实验中, 将圆环电极改 中的离子在强磁场区域的回旋运动来实现化学气 进为圆筒电极, 对比了圆筒加热和圆环加热的区 相沉积金刚石膜的抛光, 相对于现有的离子束抛 别, 分析了采用圆筒电极加热等离子体时所具有的 光技术, 该方法具有抛光面积大、处理均匀等优点 13 . 在普通的ECR 等离子体装置中, 离子温度较 优点. 低, 在通过纵向加速电极进入强磁场区时, 其回旋 特征很弱, 很难实现对金刚石膜的选择性刻蚀. 通 2 实验装置 过磁电加热能够提高ECR 等离子体中的离子能量. 在利用梯度磁场对等离子体中的离子进行运动方 实验研究在自行研制的微波 ECR 等离子 向的调节时, 较高的离子能量有利于将更多平行于 体装置上完成, 其结构如图 1 所示. 图中频率 磁场方向的能量转移到垂直于磁场方向去, 从而得 为2.45 GHz 的微波由矩形波导传输, 经天线耦合到 到具有较强回旋特性的离子束. 圆波导, 并通过石英窗口馈入到真空室内. 磁场系 磁电加热是带电粒子在交叉的磁电场中通过 统由四组沿轴向可调的线圈和三台直流电源组成, 漂移获得能量的一种加热方式 46 . 该加 真空室内的磁场强度由高斯计(LakeShore 410) 测 热方式用于ECR 等离子体中, 一方面可以有效提 量. 图2 为本实验中所采用的磁镜场位形, 其中石 高离子能量, 另一方面可以对等离子体起到约束 英窗口位于Z 0 处. 真空室的内径为10 cm. 在真 7 空室的侧壁上设置