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第 卷 第 期 光学精密工程
１８ ５
Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．５
Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ
年 月 ｐ ｇ ｇ
２０１０ ５ Ｍａ ２０１０
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1
文章编号 （ ）
１００４９２４Ｘ２０１００５１０６８０９
由正交傅里叶梅林矩定位的双光纤耦合微内尺度测量
崔继文，陈世丽，谭久彬
（哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，黑龙江哈尔滨 １５０００１）
摘要：为了解决微内尺度的精密测量问题，提出了一种基于正交傅里叶 梅林矩（ ’）定位的双光纤耦合瞄准触发
ＯＦＭＭ ｓ
式微内尺度测量方法。该方法通过耦合器实现光能量在不同光纤间的反向传输，把双光纤传感器测头的横向位移量转
化为光束的偏转量，通过显微成像系统把此偏转量转化为 ＣＣＤ图像捕捉系统更大的横向位移量。为提高测量精度，运
用 ’的幅值旋转不变性和独特的图像形状细节特征的描述能力对 图像捕捉系统的图像信号进行亚像素定
ＯＦＭＭ ｓ ＣＣＤ
位；根据 ’的实际位置进行补偿以提高输出图像边缘的定位精度，从而提高测量精度。对 ’的定位精度
ＯＦＭＭ ｓ ＯＦＭＭ ｓ
及传感器性能进行了实验验证，并依据 ＪＪＦ（黑）８２００８，利用自行研制的微小孔径测量机实现了对直径为 ２００ ｍ、深
μ
２０００ ｍ深盲孔的直径测量，其测量重复性不确定度优于 ０．２５ ｍ。
μ μ
关 键 词：微内尺度测量；双光纤耦合；反向传输；正交傅里叶 梅林矩
中图分类号： ； ； 文献标识码： ： ／
ＴＮ２５３ＴＢ９２ＴＰ３９４．１ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ１０６８
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