掺粉电解复合抛光工艺试验研究.pdfVIP

广东技术师范学院学报(自然科学) of Normal 3 2013年第7期 Journal PolytechnicUniversity No．7，201 Guangdong 掺粉电解复合抛光工艺试验研究 方伟文 (杭州诺贝尔集团有限公司，浙江杭州311100) 摘 要：微制造是微机电系统的基础．本文提出了一种掺粉电解复合抛光新工艺方法，将微细磨料均匀掺入电 解液中，依靠微型高速主轴带动工具超高速旋转搅动磨料，对工件进行“软磨削”去除表面钝化膜，然后通过电解作 用实现对工件的抛光．本文介绍了掺粉微细电解复合抛光的加工原理和实验装置，系统研究了掺粉粒度、浓度和电 极转速等对抛光质量的影响，同时研究了电源峰值电压、脉冲宽度和占空比等参数对加工的影响，并获得其工艺规 律曲线．在上述总结的最佳工艺参数条件下，进行了微细三维结构零件抛光，加工出的微细螺旋轴直径为 ①100汕m，表面粗糙度Ra0．02¨m的近似镜面效果． 关键词：掺粉；微细电解；复合抛光；微螺旋轴 中图分类号：X21 文献标识码：A 文章编号：1672—402X(2013)07—0070—05 零件的电解抛光新工艺，以较小的机械磨削力来实 0引言 现机械电解复合加工，以实现微细零件的高效、优质 微机电系统是当前的热门研究课题【旧，金属微 加工． 零件的抛光一直没有得到很好的解决．因为微机构 1掺粉电解复合抛光方法 中的能量很小，最大限度地降低摩擦、磨损是保证微 机械功能和寿命的关键．特别是由于尺寸效应，摩擦 本文提出的“基于纳秒级脉冲电源的掺粉微细 力与尺寸的二次方成正比，因此相对于宏观机构，微 电解抛光新工艺”，与现有的机械电解复合加工优越 机构中摩擦力的作用明显增强．对微零件表面质量 性体现在：(1)新工艺中，用掺粉电解液代替单纯的 的要求更高。但现有的微制造工艺却难以满足要求． 水基工作液，磨料是由工作液带(搅)动进行微磨削， 如微电火花工艺可以加工出三维微零件，但表面粗 相当于液体软工具带动磨料去除工件表面钝化膜， 糙度仅能达到Ra0．1¨m，而微电解所加工的零件表工作液的运动来自于工具的超高速旋转带动，属“软 面粗糙度值甚至更高【3．4】，从摩擦磨损的观点来看，无 加工”，因此抛光作用力小，非常适合低刚度的微细 法满足微机械的实际应用要求．同时微机械刚性低． 零件加工；(2)采用纳秒级脉冲电源进行微电解加 精度高的特点。又限制了现有抛光工艺的应用．如磨 工．能获得更好的集中蚀除能力，从而得到更高的加 削工艺在微加工中磨削力大，易引起微零件变形：纯 工精度M．在微零件抛光中应用纳秒级脉冲电流源， 电解工艺粗糙度无法满足要求．还会破坏工件原有 的形状精度；超声抛光本质上仍属于机械加工，与磨 削工艺存在同样问题：电流变磨料抛光只能用于非 金属材料：磁粒和磁流变磨料抛光属纯机械作用机 理．抛光效率不高且进一步微细化很困难． 针对现有工艺存在的问题，本文提出了应用最 新的纳秒级脉冲电解加工技术[51．结合超高速主轴 新装置，通过在电解液中掺人微细磨料来进行微细 )抛光微轴类理 (b)抛光微型厅 图1掺粉电解复合抛光原理 收稿日期：2013—05—10 基金项目：国家自然科学基金资助 作者简介：方伟文(1968一)，杭州人，本科，杭州诺贝尔集团有限公司高级工程师．研究方向：制造技术及工业