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硅 酸 盐 学 报
第37卷第9期 Vo1．37，No．9
2009年 9月 JOURNAL0FTHECHINESECERAMICS0CIETY September，2009
Mg0_66Zn0．34O薄膜的微观结构及光学性能
刘全生，张希艳，吴昊，王晓春，柏朝晖，王能利，米晓云，卢利平，袁东方
f长春理工大学，光电功能材料教育部工程研究中心，长春 130022)
摘 要 ：采用溶胶—凝胶法在石英玻璃衬底上制备了 Mg0,c~Zno340 薄膜，研究 了 M 薄膜的结构和光学性能，结果表 明：石英玻璃衬底上
Mgo66Zno340薄膜呈面心立方岩盐结构，晶格常数为O．42338nlTl，比MgO的晶格常数(O．0021rim)大。扫描电镜分析显示：薄膜均匀且平均粒径约为
10nN1。吸收光谱表明：薄膜的吸收带边位于276n／／1，相应的禁带宽度为4．49ev，该薄膜 的吸收边位于日盲区：发光光谱 由3个发射峰组成 ，峰值分
别位于 384．8amr3．22eV)、443．7nm(2．79eV)和 532．9nm(2．33eV)，激发光谱峰值位于 379nm(3．28eV)。
关键词 ：氧化锌镁薄膜；光学性能；石英玻璃衬底 ；日盲区
中图分类号：TB43 文献标志码：A 文章编号：0454-5648(2009)09—1555-05
MICROSTRUCTUREAND OPTICALPROPERTIESOFM go．66Zno．340 FILM
LIUQuansheng，ZHANGXiyan，WUHao，WANGXiaochun，BAIZhaohui，WANGNengli，MIXiaoyun，LULiping，YUAN Dongfang
(EngineeringResearchCenterofOptoelectronicFunctionalMaterialsoftheMinistryofEducation，ChangchunUnive~ityof
ScienceandTechnology,Changchun130022，China)
Abstract：Magnesium—zincoxide(Mg066Zn034~)filmwaspreparedonquartzglasssubstratebythesol_gelmethod．111estructure
andopticalpropertiesofM g066Zno34O film werestudied．ResultsindicatethatMg066Zno34~ film depositedonquartzglasshasa
．
． ．
face—centeredcubicrocksaltstructure．Thelatticeconstantis0．42334nn1．whichis0．0021nlnlragerthna thatofMgO．Thescanning
electronmicroscopeanalysisrevealsthatthefilm ishomogenousandtheaveragegrainsizeis10Bin．Th eabsorptionspectrum indi—
cateshteabsorptionedgeislocatedat276nriqna dtheforbiddenbna dwidht is4．49eV cor
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