TFA-MOD法制备YBCO薄膜生长速率研究.pdfVIP

低温与超导 超导技术 Cryo．Supercond 第38卷 第8期 Vo1．38 No．8 TFA—MOD法制备 YBCO薄膜生长速率研究 陈欢，TeresaPuig，XavierGranadors，XavierObradors，韩征和 (1．清华大学物理系应用超导研究中心，北京 100084，中国； 2．西班牙巴塞罗那材料研究所 ，巴塞罗那08193，西班牙) 摘要：采用原位电阻法对TFA—MOD法高温热处理阶段 YBCO薄膜生长速率进行了研究。实验结果和分析表 明原位电阻测量法是一种估算 YBCO层生长速率的有效方法，不同条件下的测量结果表明薄膜生长速率随管式炉 内的温度、水分压、气体流量的上升而明显增加，但随薄膜面积的增加而减小。实验结果为进一步探索和优化热处 理过程提供了重要的基础。 关键词：TFA—MOD；YBCO；薄膜生长速率 ；原位 电阻测量 StudyonthegrowthrateofYBCO filmspreparedbyTFA——MOD ChenHuan，TeresaPuig，XavierGranadors，XavierObradors，HanZhenghe (1．AppliedSuperconductivityResearchCenter，TheDepartmentofPhysics，TsinghuaUniversity，Beijing100084，China； 2。InstitutdeCi~neiadeMaterialsdeBarcelona(ICMAB—CSIC)，CampusU．A．Barcelona，Bellaterra08193，Spain) Abstract：ThispaperpresentedtheinvestigationofYBCOfilm growthrateduringhightemperaturefiringprocessofTFA — MODbyinsituresistancemeasurements．Themeasurementsappearedtobequiteusefultoevaluatethefilm growthratesbased ontheanalysis，andwiththismethoditwasofundthatYBCO film rgowthrateincreasesobviouslyalongwiththeincreasingof temperature，waterpartialpressureandgasflowrateinthetubefurnace，whereasitdecreasesasthefilm raeaincreases．These resultswouldbequiteusefulforfurtherunderstandingandoptimizationofthefiringprocess． Keywords：TFA—MOD，YBCO，Film rgowthrate，Insituresistancemeasurement 1 引言 究的热点，高温热处理过程中薄膜微观结构和超 导性能受到众多实验参数的影响，主要包含温度 YBaCu，O (YBCO)涂层导体具有大 电流、 、 气氛中的氧分压P。，、水分压P 、气体流速F、 高不可逆场的性能，因此是一种在电力领域具有 总气压P 以及薄膜 自身面积S等 -6]。YBCO层 重要应用的超导带材。 目前，YBCO超导层制备 的生长速率作为一个与薄膜微观结构、超导性能 方法主要有脉冲激光沉积法、金属有机盐气相沉 密切相关并能反映制备效率的重要参量而受到关 积法和化学溶液沉积法等 ¨。由于化学溶液沉 注 J，有研究表明当薄膜生长速率超过一定值 积法不需要真空