基于激光多普勒技术的薄膜压电性能测试研究.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １３ ６ 　 Ｖｏｌ．１３ Ｎｏ．６ 　 　 　　　　　　　　 　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００５ １２ Ｄｅｃ．２００５ 　　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００５０６０６５８０６ 　 基于激光多普勒技术的犘犣犜薄膜压电性能测试研究 许晓慧，鲁 健，朱龙洋，褚家如 　 （中国科学技术大学 精密机械与精密仪器系，安徽 合肥 ２３００２７） 摘要：应用基于激光多普勒技术的微小形变分析方法，并引入数字锁相技术，成功实现了 （ （ ， ） ）铁电薄膜 ＰＺＴ ＰｂＺｒＴｉＯ３ 的压电性能测试。对商用压电陶瓷在小信号激励下的压电性能测试表明，数字锁相技术的引入能有效抑制系统噪声，并 提高激光多普勒系统的位移检测分辨率，使其达到皮米量级。此外，研究了用溶胶 凝胶技术和溶胶 电雾化技术制备得   到的 薄膜的电压 位移曲线和压电位移“蝴蝶线”，实验结果表明：在 直流偏置下测得两种方法制备得到的 ＰＺＴ  ５Ｖ ＰＺＴ 薄膜的 压电系数分别为 ／ 和 ／ ，相应的标准偏差分别为 和 。 ｄ ２１８．７ ＣＮ ２１５．８ ＣＮ １２．７ ２８．６ ３３ ｐ ｐ 关 键 词： 铁电薄膜；激光多普勒技术；数字锁相 ＰＺＴ 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＮ２４７ Ａ 　　 犕犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狅犳犻犲狕狅犲犾犲犮狋狉犻犮 狉狅犲狉狋犻犲狊狅犳犘犣犜 狆 狆 狆 犳犻犾犿狊犫 犾犪狊犲狉犇狅 犾犲狉狋犲犮犺狀犻狌犲 狔 狆狆 狇 ， ， ， ＸＵＸｉａｏｈｕｉＬＵＪｉａｎ ＺＨＵＬｏｎａｎ ＣＨＵＪｉａｒｕ ｇｙ ｇ （ ， 犇犲犪狉狋犿犲狀狋狅 犘狉犲犮犻狊犻狅狀犕犪犮犺犻狀犲狉 犪狀犱犘狉犲犮犻狊犻狅狀犐狀狊狋狉狌犿犲狀