原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
维普资讯
现代管理
ModernM anagement
半导体炉管区 E／1I『问题的动态调度算法
潘青枝 ，周炳海
(上海交通大学 机械与动力工程学院，上海 200030)
摘要 ：炉管区是半导体制造过程 中用于热处理 的重要区域。在多品种不同交货期的晶圆产品
连续到达的环境下，提 出了优化 目标为极小化 E／T (提前／延迟)值 的WCRH (加权成本率)算
法。该算法根据产品的交货期实时更新晶圆产品的加工优先级 ；通过计算和比较加权成本率来确
定哪一种晶圆优先加工以及投入加工的时间。仿真结果表 明，该算法在减小 E／T值和缩短加工
完成时间方面，优于文献 中提及 的启发式算法。
关键词 ：半导体制造 ；批处理 ；炉管；提前／延迟 ；加权成本率算法
中图分类号 ：TP29 文献标识码 ：A 文章编号 ：1003—353X (2008)07—0639—05
DynamicSchedulingAlgorithm forElT Problem in FurnaceDistrict
ofSemi conductorFab
PanQingzhi，ZhouBinghai
( Ⅻ咖咖￡ofIndustrialEngineeringSchool E~ enng ， 胁 Tong ，Shangha／2OOO30，Oh／ha)
Abstract：Furnacedistrictisone ofthe mostimportantareas in semiconductorfabrication forheat·
treating．Toresolvetheschedulingproblem ofthefurnacewhereexistingmuhi—productsnaddifferentduedates
duringthebatchprocessing，adynamicschedulingalgorithmWas proposednamedWCRH (weightedcostrate
heuristic)ofrminimizingtheE／T (earlinessandtardiness)basedondeliveryrestriction．Itrenewsthe
operationpriorityofarrivingwaferaccordingtotheduedatesanddecidestheschedulingplanbased onthe
comparisonofweihgtedcostrate．Experimentresultsindicatethatthealgorithmismoreefficientindecreasing
E／T nadcompletedtimethna heuristicalgorithms．
Keywords：semiconductorfbarication；batchprocessing；fi．1nmee；earhnessnadtardiness；WCRH algorithm
EEACC：0140B
信息是不现实的，且计算量大 ，无法实际应用 。为
0 引言
此 ，本文在符合实际生产状况的假设条件下，提出
晶圆制造厂通常分为 四大 区：光刻区、蚀刻 一 种在交货期约束下加权成本率的动态调度算法，
区、炉管区、薄膜区。炉管的加工时间长 ，调度的
文档评论（0）