环境温度对集成微沟道温差空气流量传感器的影响及其补偿.pdfVIP

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2017-09-13 发布于江苏
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环境温度对集成微沟道温差空气流量传感器的影响及其补偿.pdf

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第24卷第5期传感技术学报 V01．24 No．5 2011年 5月 CHINESEJOURNALOFSENSORSAND ACTUATORS Mav2011 TheEffectsandCompensation ofAmbientTemperatureonan AirFlow SensorIntegratedM icroChannel YU Bolin ，WANGRuichun ，GONGHandong ，YU Fahong ，1．DepartmentofElectronicCommunication，Shenzheninstituteof ， rmationtechnology，ShenzhenGuangdong518029，China．＼、2．StateKeylabof wareEngineering，WuhanUniversity，Wuhan430074，China ， Abstract：The effectofambienttemperature on an airflow sensorintegrated micro channelis studied，and a compensationsolutionofambienttemperatureisproposed．Forthisflow sensor，theairflow velocityisobtainedby testingtemperaturedifferenceofupstream anddownstream，andthetemperaturedifferenceisdifferentwhenambient temperatureisdifferent．Thiscanbringtestbias．Theincreaseofambienttemperaturewouldcausethetemperature differenceofupstream anddownstream decreaseandoutputvoltagedecrease．butmeasurablerangebecomeswider． Inthisarticle，thecompensationsolutionisthatafilm resistanceusedtotestambienttemperatureisinstalledinthe upstream ofchip．By thisway the ambienttemperature can transferinto voltage signalas the reference of compensation．Thecompensationsolutionisaimedtoletthetemperaturedifferenceofambientandheaterresistance maintainconstant，meanwhilethemeasuredeviationcausedbyambienttemperaturechangewoulddecrease．When theairflow velocityis2．5m／sandambienttemperatureis0 ℃ ，27 clC and50 ℃ ，theoutputvoltagesignalis 4．5V，3．6V and2．4V respectivelybeforecompensation，aftercompensationtheoutputvoltagesignalis3．62V， 3．68V and3．75V respectively． Keywords：airflow sensor；ambienttemperature；testeffect；compensation EEACC：7230；7320W doi：10．3969／j．issn．1004-1699．2011．05．012 环境温度对集成微沟道温差空气流量传感器的影响及其补偿术余柏林，王瑞春，龚汉东，余法红，1．深圳信息职业技术学院电子通信技术系，广东深圳 518029；、