磁致伸缩微位移驱动器性能测试分析.pdfVIP

Vo1．6 No．4 天 文 研 究 与 技 术 第6卷 第4期 Dec．，2009 ASTRONOMICALRESEARCH ＆ TECHNOLOGY 2009年 l2月 CN 53—1189／P ISSN 1672—7673 磁致伸缩微位移驱动器性能测试分析 张梦 良 ，戚永军 ，杨斌堂 1．中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所，南京210042； 2．中国科学院研究生院，北京100049； 3．上海交通大学机械与动力工程学院，上海200240) 摘要 ：介绍了磁致伸缩微位移驱动器的工作原理，分析 了检测方法 ，设计 了使用双频激 光干涉仪作为测量基准的测试平台；对该驱动器的位移的输 出特性进行 了测试 。通过拟合处 理对测试结果进行数据分析 ，可提高超磁致伸缩微位移驱动器的线性度和控制精度，使得驱 动器性能改善。基于磁致伸缩效应原理研制的微位移驱动器，具有线性好、分辨率高、精度 高等优点，经测试，达到了设定的参数指标要求。 关键词：磁致伸缩效应 ；微位移；驱动器；多项式拟合 中图分类号：TH751s 文献标识码 ：A 文章编号：1672—7673(2009)04—0342—05 l 微位移驱动机构分析 微位移驱动及其驱动器是大型天文望远镜核心技术——主动光学的关键环节和部件 ，目前实现微 位移驱动大多采用基于液压、电机一减速器式缩微原理的驱动器，应用中潜在或已出现漏液、迟滞等 问题 。 1．1 电机一减速器式 该微位移机构是直接利用电机作为驱动元件产生微位移，以磁场与通电导体之间的相互作用为基 础 ，具有任意的调节行程，无限的位移分辨率，响应快等特点。目前应用到天文望远镜上的该类型驱 动器，最小步长为 10nm，分辨率可达4．4nm，但主要 问题是空回不可控制，成本过高，因此其应用 不是很广泛。 1．2 压电效应式 该机构利用压电元件(陶瓷)的逆压 电效应来实现微位移，改变输入电压的大小即可得到不同的 微位移，从而避免了机械结构造成的误差，所以具有简单、尺寸小、分辨率极高(可达纳米级)、发 热少、无杂散电磁场、便于遥控、有较好的动特性和有很高的响应频率 (响应时间达 100p~s)等优 点…，目前在天文望远镜上应用于小行程的较常见；但如果要实现大行程，驱动器的成本非常高， 另外还需要使用高压电源，结构复杂。这些因素抑制了压电效应驱动器在大行程天文望远镜的应用。 1．3 磁致伸缩式 本文使用的微位移驱动器 (MagnetostrictiveMicro．displacementActuator)是基于磁致伸缩效应原理 研制的，并首次应用在天文望远镜上实现位移测量的器件。由于磁致伸缩材质和扭转波的传播特性， 以及电子测量电路对精确测量功能的实现，微位移驱动器具有其它驱动器不能达到的驱动大位移、高 精度的特点，同时具有安装简便、适用范围广等优点；此外，驱动器更能承受高温、高压和高振荡的 环境；最后，它的输出信号为绝对数值，所以即使电源中断重新连接也不会对数据接收造成问题，无 +基金项 目：国家 自然科学基金 资助． 收稿t3期：2009—01—15；修定 日期：2009—04—08 作者简介 ：张梦 良，男，硕士，研究方向：天文望远镜精密测量与检测 4期 张梦 良等：磁致伸缩微位移驱动器性能测试分析 须重新调整零位 。 2 磁致伸缩微位移驱动器工作原理 磁致伸缩效应是指铁磁性材料在达到一定的磁性后会产生机械应力变化的过程，根据作用力与反 作用力原理，也存在逆磁致伸缩效应，它是铁磁性材料受到机械应力后，发生的磁化状态改变。磁致 伸缩式驱动器原理是利用扭转波作为传播媒介，这个扭转波是由两个不同磁场相交得到的应变脉冲信 号(strainpulse) I4；这个应变脉冲信号作用于磁致伸缩棒，令其产生变形而使与之相连的运动件产 生微量位移。第一个磁场来 自于绕着磁致伸缩棒的驱动线圈；第二个是由磁致伸缩棒本身材料的磁性 产生的。另外，在磁路中加入一块永久磁铁提供一定的偏磁场，这样可以缩小驱动线圈的体积使结构 较