平面行星夹具的物理气相沉积均匀性计算.pdfVIP

第 23 卷 第 6 期 计 　　算 　　物 　　理 Vol. 23 ,No. 6 　 2006 年 11 月 　CHINESE JOURNAL OF COMPUTATIONAL PHYSICS 　 Nov. , 2006 ( ) [文章编号] 　1001246X 2006 平面行星夹具的物理气相沉积均匀性计算 方　明 , 　范正修 , 　黄建兵 ( 中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜中心, 上海　201800) [摘 　要] 　建立了平面行星夹具薄膜淀积无量纲模型 , 通过对蒸发源位置 L H 、行星主轴与副轴距离 PH 、夹 角倾角 A 以及蒸发源蒸汽发射特性N 等因素的分析 , 得到了典型径向理论均匀的优化几何配置. 并从优化几何 配置的膜料效率 、角向均匀性和膜厚分布对蒸发源蒸汽发射特性变化的敏感性方面评价优化结果 , 得到了最优 化设计区域. 结果表明 , 优化配置的 L H + PH 小 , 则角分布差异小 ; L H + PH 和A 小 , 则膜料效率高 ; L P , A = - 15°时 , 优化配置对 N 变化最不敏感 ; L P 时 , 由 N 变化引起的典型径向分布变化小于 05 %. [ 关键词] 　薄膜淀积 ; 均匀性 ; 平面行星夹具 ; 计算机模拟 [ 中图分类号] 　TN3058 [文献标识码] 　A 0 　引言 ( ) 使用物理气相沉积法制备光学薄膜时 ,薄膜物理厚度 简称膜厚 均匀性直接影响薄膜的光学均匀性. 膜 厚均匀性是指膜厚随基片表面位置的变化而变化的情况 ,与真空室的几何配置及蒸发源的蒸汽发射特性等 因素有关. 行星夹具有较大的均匀面积和较高的生产效率 ,但是 ,现有行星夹具的几何设计在某种程度上仍以单轴 旋转夹具为原型. 实际上 ,增加的某些变量 ,如夹具倾角和副轴与主轴转速比 ,形成基片复杂的运行轨迹 ,使 行星夹具有它自身的特点和分析评价方法. 文[1 ]对行星夹具做了一些分析 ,其局限在于分析结果为特定的 长度值 ,不具有更普遍意义. 此外 ,现有行星夹具方面的资料 ,如文[2 ]也没有对几何变量之间的更进一步关 系和优化结果的有效性做深层次的分析. 本文建立了平面行星夹具薄膜淀积无量纲模型 ,编写了平面行星夹具膜厚分布计算分析程序 ,在一定范 围内找到优化几何配置;建立了 3 种对几何配置的评价方法 : ①几何配置的膜料效率 : ②角向均匀性 ; ③膜厚 分布对蒸发源蒸汽发射特性的敏感性. 并利用这些方法获得了最优化设计区域. 1 　平面行星夹具薄膜淀积无量纲模型 基于下面 3 个假定 ,可对薄膜淀积过程进行理论模 型设计[3 ] : ①蒸发分子与蒸发分子、蒸发分子与残余气体 分子之间碰撞可以忽略 ; ②蒸发分子到达基底表面后全 部淀积成折射率和密度均匀恒定的薄膜 ; ③在积分范围 内,蒸发源的蒸汽发射特性不随时间变化. 图 1 为典型平面行星夹具的几何模型 ,其中 H 是标 准点p 0 (平面夹具与副轴交点 S / H = 0) 到蒸发源水平面 的距离. 为了使模型具有更大的普遍意义 ,将 H 作为所有 长度量的单位. L H 是蒸发源到主轴距离 , P/ H 是p 0 到 图 1 　平面行星夹具无量纲模型的几何配置 主轴距离 , S H 是考察点p 到p 0 点的距离 ,即 p 点所在圆 Fig1 　Geometric configuration of a flat planetary fixture 的半径 , r 是p 点到源的距离 ,A 是夹具倾角 , 向主轴倾斜 in a dimensionless model [ 收稿日期] 2005