具有纳米氧化层的磁性隧道结的热稳定性研究.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ’( F $$’ F ， ， ， OG8 *’( LG *F EJ9J5UJK $$’ （ ） !$$$4/F$\$$’\’( $F \(/($4$’ C2-C Y]^EW2C EWLW2C $$’ 2;7, * Y;?S * EG@ * 具有纳米氧化层的磁性隧道结的热稳定性研究! ） ） ） ） ） ! ! # ! 冯玉清 侯利娜 朱 涛 姚淑德 詹文山 !）（中国科学院物理研究所与凝聚态物理中心磁学国家重点实验室，北京 !$$$%$ ） ）（北京大学技术物理系，北京 !$$%!） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$’ $$’ % 研究发现在磁隧道结的反铁磁层和被钉扎铁磁层之间插入一层纳米氧化层，可以使磁隧道结的退火温度增加 了 ，即明显地提高了磁隧道结的温度稳定性 通过卢瑟福背散射实验直接观察到产生这一效应的原因是该纳 ($) * 米氧化层有效地抑制了 元素在退火过程中的扩散，从而使 值在较高的退火温度下得以保持 +, -+. * 关键词：磁性隧道结，隧穿磁电阻，热稳定性，纳米氧化层 ： ， ， !## /($0 /($. 11!$2 层上插入很薄的一层纳米氧化层（ ， ,6,G GH7IJ 86?JK !A 引 言 LDM），使得磁隧道结退火温度的提高，进一步采用 卢瑟福背散射直接观察到退火前后的元素变化，明 近年来，对磁性隧道结（ ）的研究吸引了越 确了该纳米氧化层具有抑制 等元素的扩散作 +-B +, 来越多的注意，这不仅因为学术研究上的重要意义， 用，从而明显地改善了+-B 的热稳定性* 而且因为其潜在的巨大应用价值，如+-B 可以用于 磁性随机存储器（ ），磁头和高灵敏磁场传感 实验过程 +.C+ A ［— ］ 器等等! ’ * 尤其是+.C+，具有非挥发，高速，高密 度，低能耗，抗辐射性能好等诸多优良特性，作为下 实验所用的+-B 样品采用日本真