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第 卷第 期 西 南 大 学 学报 自然科学版 年 月
33 5 2011 5
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Vol.33 No.5 JournalofSouthwestUniversit NaturalScienceEdition Ma 2011
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文章编号: ( )
1673 9868201105 0166 05
基于虚拟机技术和有限元分析的
键合机机械结构与系统动态性能分析①
张 维
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哈尔滨工业大学 控制科学与工程系 哈尔滨 150001
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摘要 随着半导体制造技术不断向微细化 高速 高密度方向发展 开发高精度 高效率 高可靠性的键合机是对
、
封装设备制造业刻不容缓的要求 而深入认识 分析和改善键合机的机械结构与性能成为广大科研工作者面临的
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首要任务 利用虚拟机技术软件 建立了某键合机的动力学模型 并通过仿真验证了模型的正确性 利用
. ADAMS
( ) ,
有限元分析软件 PANTRAN 分析了该键合机中关键部件的物性特性对整机精度的影响 并得出初步的结论.
: ; ;
关 键 词 键合机 虚拟机技术 有限元分析
中图分类号:TH164 文献标志码:A
,即机械系统动力学自动分析( ),该软件
ADAMS AutomaticDnamicAnalsisofMechanicalSstems
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是美国 公司( )开发的虚拟样机分析软件 目前, 已经被全世界各
MDI MechanicalDnamicsInc. . ADAMS
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行各业的数百家主要制造商采用 利用 可以在计算机上建立和测试虚拟样机 对虚拟机械系统进
. ADAMS
、 , 、 、 ,
行静力学 运动学和动力学分析 输出位移 速度 加速度和反作用力曲线 计算有限元的输入载荷等.
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