簡単で確実な液体窒素自動補給器.pdfVIP

Title ??で??な液体窒素自???器 Authors 秋本, 良一 Citation 大阪大学低温センタ?だより. 78 P.13-P.14 Issue Date 1992-04 Text Version publisher URL http:// DOI Rights Osaka University??メモ ??で??な液体窒素自???器 基?工学部 秋本 良一? 中 油回?ポソプと油?散ポソプ、それに液体窒素 トラップを?み合わせた真空排?系は大抵の研究室に はあると思う。そして、???高真空を保たなければならない?合もあると思う。我々の研究室ではこ のような真空排?系をもつ蒸着装置を用いて、半?体の薄膜を作? している。蒸着中、× ぐ らいの真空度を???、ときには、日 保たなくてはいけない?合がある。??は液体窒素 トラップ で、およそ? ?ぐらいで空になるので、? ?おきには液体窒素を??しなければいけない。いまま で、人手によってこの作?が行われていたために、液体窒素の??のため研究室に泊まらねばならなかっ た。これは、大?な?力の??であるので、表?にあるように、??な液体窒素自???器を作? した ので?介する。 ?にこの装置の?子を示す。液体窒素タソクは、研究室にあった」 の液体窒素ベッセルを流用 した。 二つの?磁弁を、?のように真?の工作物にとりつけ、これと液体窒素ベッセルを真空ゴム管でつない である。?磁弁に は、窒素ボソベからレギュレ?タ?を通しておよそ?? の?力をかけている。 液体窒素を??するときには、?磁弁が ?き、同?にもう一方の?磁弁が ?じるようになっていて、 液体窒素ベッセル内の?力を高め、真空ポソプの トラップへ液体窒素を?送するようになっている。液 体窒素を??しないときは?磁弁が ?じていて、?磁弁は ?いている。窒素ボソベを用いてベッセ ル内の内?を高める代わりに、ベッセル内にヒ?タ?をおき、それを炊くことにすれば、さらにスペ? スを??できる。 ?磁弁 究素ガス 温度センサ? ?磁弁 バェゴム管 窒素トラップ 液体窒素 窒素ベツセル 一一