溶胶-凝胶法制备BZT薄膜的介电性能研究.pdfVIP

第 13卷 第 5期 重庆科技学院学报 (自然科学版) 2011年 l0月 溶胶一凝胶法制备 BZT薄膜的介电性能研究 刘行冰 郭冬娇 张玉芹 邓小玲 (重庆科技学院，重庆 401331) 摘 要：采用溶胶一凝胶法制备了Ba(Zre2Ti8)O，薄膜(简称BZT)。通过X射线衍射测试结果可知，该BZT薄膜为钙钛 矿结构且无其他杂相存在 。LCR仪测试结果表 明，当频率为 lkHz时，薄膜具有最低的介质损耗。 关键词 ：溶胶一凝胶 ；BZT薄膜 ；介 电性能 中图分类号：TM22~4 文献标识码 ：A 文章编号：1673—1980(2011)05-0117—02 薄膜材料 、薄膜科学与薄膜技术一直是高新技 80℃下溶解完全，冷却后待用 。将适量的乙二醇乙醚 术研究中最活跃 的研究领域之一 ，并 已取得突飞猛 注入到钛酸四正丁酯 中．并加入适量的乙酰丙酮作 进 的发展 。随着研究的不断深入 ，铁 电材料的种类 为螯合剂，不断搅拌使其成为透明溶液待用。用适量 愈来愈多，目前 已达 200多种 (每种化合物或 固溶 的乙醇溶解五水硝酸锆待用。取适量的Ba前驱液 体只算一种 ，己掺杂或改变成分者不算新 的种类)H]， 和 Ti前驱液混合均匀后逐滴加入适量 的Zr前驱 其 中，BaTiO 系列铁电体 ，尤其是钛酸锶钡 (BST)胆] 夜，并且不断搅拌，成为透明的溶胶 。 固溶体引起 了人们 的广泛观注 ，这是 因为 BST具 将溶胶静置老化 24h后 ，在 Pt／Ti／SiO2／Si基片上 有高介 电常数 、强非线性 、不易疲劳、居里温度可调 采用旋转涂布 的方法得到凝胶膜 。先采用低转速 等特性。 600r／min匀胶 15s，随后采用 3000r／min匀胶 20s。 铁 电材料具有介电非线性 ，利用其介 电非线性 将得到 的凝胶膜在干燥箱 中干燥 10rain后置于石英 可制作介质放大器 、倍频器 、脉冲振荡器 、交流稳压 管式炉 中，在 500~C下保温 10min。然后重复甩胶热 器 、频率调制器等众多器件 ．特别是用于制作介质移 处理过程 ．直至获得所需厚度的薄膜 ．最后在不同的 相器 、压控滤波器等新型器件_3。为 了提高介质移 温度下进行退火处理 。 相器等器件的性能 。人们希望所使用 的铁 电材料具 利用X射线衍射仪测试 BZT薄膜的晶体结构 。 有强 的介 电非 线性 和低 的损 耗 。而锆 钛酸钡 然后用 LCR仪测试薄膜在不同频率下的电容值及 (Baz 。O，简称 BZT)是一种典型的介 电非线性材 介电损耗 ，比较薄膜的介电常数。 料 ，与 BST同属钛酸钡系列 ，由于其漏电流更低 、耐 2 实验结果与讨论 压强度更高 ，近年来逐渐受到人们的重视。 在此，我们采用溶胶一凝胶法制备BZT薄膜 ．并 2．1 晶体结构 研究其介 电性能，为研究其介电损耗奠定基础。 图1为Ba(Zro．zTi8)o，薄膜的XRD图谱 。由图可 知，BZT薄膜呈单一钙钛矿结构，其衍射峰比较明 1 实验过程 显 ，无第二相存在 ，呈现 (111)择优取 向。 以分析纯 乙酸钡 (I99．O％)、化学纯钛酸 四正 2．2 BZT薄膜的介电性能 丁酯(I98．0％)、化学纯五水硝酸锆 (Zr(NO)5·H：O) (1)BZT薄膜在不 同频