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不同气压下氦气介质阻挡辉光放电的特性研究 李成柳 刘文正 刘星 严伟 （北京交通大学 电气工程学院，北京 100044 ） [摘要] 大气压下辉光放电(APGD)在空气净化中有良好的应用前景。本文选取了大气压下普遍认 为较易产生辉光放电的氦气作为反应气体，分别在不同气压 （数百帕直至大气压）下，将其以 一定的流速通过覆有介质材料的两平板电极之间，利用频率可变的高频电源，产生了介质阻挡 辉光放电。采用日本Kando小组提出的修正的朗缪尔探针法，测得了等离子体的电子温度和电 子密度。通过对不同气压下的放电电压和电流及等离子体参数的比较，讨论了压强变化对于氦 气环境下稳定辉光放电的影响。为进一步研究大气压下辉光放电的机理，实现大气压下空气环 境中稳定的辉光放电提供了重要参考。 [关键词] 大气压辉光放电 介质阻挡 langmuir探针法 放电特性 一 引言 放电腔体 隔直电容 辉光放电等离子体低温等离子体中存在 着大量的种类繁多的活性粒子，在医疗灭菌、 A D 表面改性，等离子体显示等领域都有许多重要 电源 的应用，有着很好的应用前景。目前，在实际 工业生产中，广泛使用的是低气压辉光放电等 B C 离子体，但这种方式的真空系统所需的投资和 运行费用较高。大气压下的辉光放电可以克服 以上的不足，可以在较低成本下实现流水线生 产，有着更高的经济效益。 图1 大气压下辉光放电实验装置原理图 常压下，尤其是空气中的辉光放电非常难 A 送气系统 B 抽真空系统 C 流量计 D 真空计 以产生，长期以来一直是研究的难点。1988 实验选用电源为自制的高频高压电源， 年，日本的Kanada 在惰性气体中实现了大气 220V 市电 通过调压器经Boost 电路和逆变电 压下的辉光放电，之后法国、美国等研究小组 路输出到高频变压器，变压器副边接平板放电 也对大气压下的均匀辉光放电进行了实验研 电极。输出频率为20KHz~50KHz 可调，输出 究，在某些方面取得了很大进展。但人们对大 空载电压最高可达 2.5KV 功能，最大输出功 气压下辉光放电的产生机理仍不十分清楚，有 [1] 率1000W 。 待进一步研究 。 本文选取了普遍认为容易产生辉光放电的 利用上述装置，先将系统气压抽至102 ， 然后通入纯氦气体 （ ），以此来改 氦气作为反应气体，通以频率可变的高频高压 99.99% 电源，在大气压下产生了介质阻挡辉光放电。 变放电的压力环境，分别在不同的气压下，通 并测量了等离子体的电子温度、电子密度。 过增大或减小电源逆变环节输出脉宽和调压 器电压的方式来控制单位周期的注入能量，直 至实现稳定的辉光放电，观察相应的等离子体 二 实验装置和实验过程