梯形变截面悬臂梁式微质量传感器设计与分析.pdfVIP

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2017-09-12 发布于重庆
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梯形变截面悬臂梁式微质量传感器设计与分析.pdf

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第25卷第l0期传感技术学报 Vo1．25 No．10 2012年 10月 CHINESE JOURNA[OF SENSORSAND ACTUATORS 0ct．2012 Design andAnalysisofM icro-M assSensorBasedon TrapezoidalVariableCross—SectionCantilever GAORe ng，ZHAOJian (StateKeyLaboratory StructuralAnalysisforInduStrialEquipment，SchoolofAutomotiveEngineering DalianUniversityofTechnology，DalianLiaoning116024，China) Abstract：A trapezoidalvariable cross—section cantileversensorwasdesignedand fabricated formeasuring small lumpedmasses。andthedynamicvibrationmode ntheform ofsecondorderdifferentia1equationwithvariablecoef- ficientsisestablished．Thecorrespondingmasssensitivitywasobtainedbyfiniteelementmethod(FEM)．Comparing with therectangularconstantcross—sectiontype，thesensitivitiesoftheproposedmasssensorswithsinglePZT layer anddoublePZTlayersareimprovedby127．00％ and263．00％，respectively．Byusingwirecuttingtechnology，a trapezoidalvariablecross—sectioncantileversensorwasfabricatedwhichiscomprisedofonePZT layerbondingto theelasticcantileverofrself-exciting，anditssensitivitywastested．Thefeasibilityofintroducingtrapezoidalvariable cross—sectioncantilevertoimprovethesensitivitywasvalidatedbythegoodagreementbetweentheexperimentsand thesimulationresults． Keywords：masssensor；trapezoidalvariablecross—sectioncantilever；sensitivity；resonantrfequency EEACC：2575；2860 doi：10．3969／j．issn．1004—1699．2012．010．005 梯形变截面悬臂梁式微质量传感器设计与分析：l= 高仁璨，赵剑 (大连理工大学，工业装备与结构分析国家重点实验室，汽车工程学院，辽宁大连 116024) 摘要：针对微小集中质量测量问题，提Ⅲ并制备了一种梯形变截面悬臂梁式微质量传感器，建立了梯形变截面悬臂梁式微质量传感器的振动分析模型。采用有限元方法求解其振动控制方程，获得了微质量传感器的灵敏度。仿真分析结果表明，相对于等截面矩形悬臂梁式微质量传感器，单层压电和双层压电结构的变截面悬臂梁传感器的灵敏度分别提高了127．00％和 263．00％。采用线切割工艺，加T_N备了单压电层梯形变截面结构的微质量传感器并对传感器进行了实验测试，在误差允许范围内，仿真结果与实验结果基本一致，验证了采用梯形变截面悬臂梁式结构可以有效的提高传感器的灵敏度关键词：微质量传感器；梯形变截面悬臂梁；灵敏度；谐振