五自由度纳米级定位精度机构的研制.pdfVIP

维普资讯 机械设计与制造 第2期 二 二 Machinery Desizn Man ct 2005年 2月 文章编号：1001—3997(2005)02—0090—02 五 自由度 纳 米级 定位 精度 机构 的研 制 王 勇 刘志刚 薄锋 朱健强 (中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 201800) Developmentoffive——dofintegratedstagewithnano——precisionpositioning WANG Yong，LIUZhi—gang，BOFeng，ZHUJina —qiang (ShanghaiInstituteofOpticsandFineMechnaics，ChineseAcademyofSciences，Shanghai201800，China) 中图分类号：TH165 文献标识码：A 1前言 柔性机构中加工一体化、无需装配的理想要求。 纳米级驱动和定位技术在前沿科学领域有着广泛的应 2工作台的结构设计及工作原理 用。随着光刻技术的发展，电路线宽要达到 100nm，精度级定位 由于压电／电致伸缩元件本身伸缩量有限，为了增大运动 精度达到20—30nm；生物工程中，对游离细胞的操作，要求操纵 行程，通常采用杠杆式多级放大单轴柔性铰链机构带动由平行 器的分辨率达到几十纳米；此外，光学工程中光波位相的调制、 四边形机构组成的运动平台实现。采用该种方法虽然可以有效 微机电系统 (MEMs)的加工装配、大容量数据存储等需要借助 的增大工作行程，但是位移过程中却带来非功能方向上的运动 纳米级定位技术才能实现。 牵连，在纳米级定位精度范围内，该运动牵连带来的交差耦合 在工作原理上实现纳米级高精度的定位，传统的机械传动 误差不可忽略，而且无法进行补偿，因此影响定位精度。采用双 式定位机构，由于存在着传动间隙、机械摩擦、滑动等原因，定 柔性平行四杆结构及柔性八杆机构双平行四边形导向结构实 位精度无法达到纳米定位装置多采用柔性铰链作为传动导向 现平移运动，这两种结构形式可以有效的消除单平行四杆结构 元件，压电／电致伸缩元件作为驱动器构成。在结构形式上，多 形式存在的牵连耦合位移，而且可以在一定程度上提高抗外界 自由度纳米级定位平台一直是研究的重点和难点，国内纳米级 干扰的能力。通过对八杆机构连杆长度及位置等参数的选择， 精度定位平台的研究多数限于平动装置且多为三 自由度 以下 可以有效的对压 电／电致伸缩驱动元件的输出位移量进行放 【1】2【【3】。为了实现多 自由度运动，可以采用并联式结构 (如典 大。精密定位工作台的转动功能通过旋转型柔性铰链实现。 型的Stewart机构)，但是采用柔性铰链形式的并联式结构 4【】 【5】，不仅加工和装配不便，难以实现柔性机构一体化加工的思 想，而且控制过程复杂。此外并联机构通常采用驱动器内置位 移传感器的方法将所测量值作为输入量的根据，由于加工和装 配误差及变形等因素，根据此输入量通过运动反解得出的理论 上的输出量与实际量有较大的误差。采用一维模块组装结构虽 然可以消除运动耦合，控制简单，但是 自由度过多时，系统过于 (a)结构总体 (b)结构俯视图 (c)支座结构 庞大，误差累积大，动态性能较差。 图l五维一体化精密定位平台结构示意图 1．轴出平台 2．向平移 3．平移及转动平台4． 一，，平面平台 为此，提出一种新型的五维纳米级精密定位工作台，整个 5、6．支座 7．转动副柔性铰链 8．PZT驱动器 工作台由整块金属材料通过高