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第25卷 第9期 传 感 技 术 学 报 V01．25 NO．9 2012年 9月 CHINESE JOURNALOF SENSORSANDACTUATORS Sep．2012 SensingGasPressureBasedonZnO SensorunderHighFlow Rate ZENGChuiyi，ZHANGYuan ，XUJiaqiang ，CHENXuedong (1．ShanghaiUniversity，Shanghai200444，China； 2．StateKeyLaboratoryofDigitalManufacturingEquipmentandTechnology，HuazhongUniversityofScienceandTechnology，Wuhan430074，China) Abstract：A new measuremethodbasedonZnO sensorswasbroughtforwardanddevisedtodetectandmeasurethe gaspressuredistributionformechanicalsystem gasbearingfilm pressure．ZnO nanopowderwaspreparedbychemi— calprecipitationmethod，andcharacterizedbyXRD andSEM．High—pressuregaswasdetected successfullyand the pressure-outputvoltagecurvewasdraw accordingtotheoxygenchemisorption，piezoelectriceffectandheatconduc— tionmechanism．A new methodwasdraw formeasuringthegaswithhighpressureandflow rate． Keywords：sensors；gaspressuretest；Zincoxide；nanomaterials EEACC：7230 doi：10．3969／j．issn．1004-1699．2012．09．004 基于ZnO传感器的高流速气体压力测试冰 曾垂义。，张 源 ，徐甲强 ，陈学东 (1．上海大学理学院化学系，上海200444；2．华中科技大学数字制造与装备技术国家重点实验室，武汉 430074) 摘 要 ：针对机械系统中气体轴承问气膜压力的分布检测，提出并研发了一种基于ZnO传感器的检测方法。ZnO纳米颗粒 敏感材料采用化学沉淀法制备；用 x射线衍射和扫描电镜对其进行了表征。利用ZnO传感器的响应电压与动态气体压力的 关系，成功测试 高压动态气体的压力。分析了氧气吸附、压电效应和热传导对响应电压的影响，拟合出对应的气体压力一响 应电压关系曲线，本研究为高流速气体压力的测试提供了一种新途径。 关键词 ：传感器；气压测试；氧化锌；纳米颗粒 中图分类号：TH138．5；TP212；TH823 文献标识码 ：A 文章编号：1004—1699(2012)09—1194—05 随着科学技术的发展，对气体压力准确的实时监 需要适时测量动态、高流速气体的压力的要求与传 测已经成为当前工业、民用等领域急需解决的问题。 统静态压力测试的要求有很大不同。尽管 目前在高 压力传感器是传感器系统中应用最为广泛的一类传感 压气体压力测试方面有着一定的研究，但是均明显 器，在航天、航空、国防科研、能源、交通、冶金化工、环保 存在可操作性低等缺点，如WonSong 等利用多壁 和材料等诸多领域的精密测量、自动控制中起着举足 碳纳米管来测量动态、高流速气体压力的方法则存 轻重的作用。随着其应用领域的不断拓展，对传感器 在着响应程度不明显、实验操作复杂等缺点。 体积、精度、量程和抗干扰能力也提出了更高要求…。 ZnO传感器 由于其优异的敏感性能 ，已被 压力分布检测在汽车机械、国防、化