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多工位烧结炉智能温度控制系统的设计与应用! 刘! 艳，等
多工位烧结炉智能温度控制系统的设计与应用
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104 7(/#4(’ 954().# :/ ;5-/,-# 04=,-).#%
刘! 艳! 张天开! 黄! 东
（青岛理工大学自动化工程学院，青岛! ##$%% ）
摘! 要：针对传统的多工位烧结炉的温度控制精度、生产工艺控制能力等较低的现状，提出了一种多工位烧结炉的智能温度控制系
统。该系统以可编程逻辑控制器（’( ）为核心，以模糊)* 算法为控制器。在该系统的控制下，可有效地实现对三工位烧结炉温度工
艺曲线和辅助工艺的控制，并可在线自整定)* 参数，实现了烧结炉生产过程的自动化，提高了温度控制精度以及工作效率。应用结
果表明，该温控系统具有良好的自适应性和鲁棒性。
关键词：温度控制! 模糊控制! 烧结炉
中图分类号：+,%! ! ! ! 文献标识码：-
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每次装载的材料数量不同，及各个烧结炉结构的差异
9! 引言
等原因，在对烧结炉的工艺温度进行控制时，需要配置
在半导体材料烧结工艺过程中，温度控制是一个 不同的控制参数。另外，在某个烧结炉完成烧结工艺
非常重要的环节，对温度的控制精度将直接影响产品 操作以后，需要自动转至其他工位进行其工艺烧结操
的质量。目前，对多工位烧结炉的操作，需要操作人员 作过程。
根据材料烧结工艺的要求而手动调节温度控制仪表的 为实现上述烧结过程的自动控制，智能温控系统
参数来实现对炉体温度的控制。这种操作方法很大程 需要检测加热炉体以及- 、J 、( 三个工位烧结炉的温
度上依赖于操作人员的经验，存在着工艺温度调整过 度参数、工艺运行参数和状
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