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硅压阻压力传感器在地下水监测中的应用 冯建华 ，等 硅压阻压力传感器在地下水监测 中的应用 ApplicationofPiezoresistiveSiliconPressureTransducer inGroundwaterLevelMonitoring 泻建华 袁爱 磊 (中国地质调查局水文地质环境地质调查中心，河北 保定 071051) 摘 要：154N型硅压阻压力传感器具有结构紧凑、性能可靠等优点，被广泛应用于低压力监测场合。该传感器内部具有温度补偿电 路以及经过激光调整的增益调节电阻，使得信号调理变得简单易行。为检测该传感器及其调理电路的性能，在同一套调理电路中分 别应用了相同型号的四只传感器 ，以记录每只传感器在相同压力值的信号输出，并计算确定每只传感器的输 出信号随压力变化的相 关系数。通过对比四只传感器的相关系数 ，验证了传感器及其应用电路适用于液位测量。 关键词 ：压力传感器 硅压阻 地下水 温度补偿 监测 中图分类号 ：TP216+．1 文献标志码 ：A Abstract：The154N seriessiliconpiezoresistivetransducerswhich featurescompactstructure-reliableperformancearewidelyused inthe situation oflow pressuremonitoring．Thistypeoftransducerequippedwithbuilt—in temperaturecompensation circuitryandgainregulating resistoradjustedbylaser，thusthesignalconditioningbecomeseasier．Inordertotesttheperfomranceofthetransducernaditsconditioning circuit，fourofthetransducerswiththesamemodelareusedandappliedinthesalneconditioningcircuitrespectively，thesignaloutputofeach transducerundersamepressureisrecorded，andrelatedcoefficientofoutputsignalfollowingpressurechangeforeachtransduceriscalculated． Th roughcomparingtherelatedcoefficientsofthesefourrtansducers，itisverifiedthatthistransducerand itsappliedcircuitry aresuitablefor applicationsoflevelmeasurement． Keywords：Pressuretransducer Siliconpiezoresistive Groundwater Temperaturecompensation Monitoring 0 引言 1 154N型压力传感器简介 地下水水位是野外水文地质调查以及地下水常规 目前，耐高温高频响的压力传感器主要有压电式和 监测中最基本的一个指标。随着科技的进步，各种地 压阻式两大类 。硅压阻式传感器灵敏度通常比金属 下水监测设备层出不穷。同时，为了合理地开发和利 应变计式传感器高 1～2个数量级，具有体积小、质量 用地下水资源，遏制已有的地下水环境问题进一步恶 轻、分辨率高等特点，在各行各业得到了广泛的应用 。 化，并防止新的地下水开发区出现类似问题，在加强勘 文中涉及到的硅压阻压力传感器经常被应用于野外 电 查的基础上 ，必须对地下水动态变化进行监测 。按 池供电的监测设备中。154N型硅压阻压力传感器为固 照国家有关标准 ，根据监测变量的不同，地下水的动态