液晶空间光调制器用于波前校正的研究.pdfVIP

第37卷第6期 红外与激光工程 2008年 l2月 Vo1．37NO．6 InfraredandLaserEngineering Dec．2Oo8 液晶空间光调制器用于波前校正的研究 张洪鑫 。，张 健 ，吴丽 莹 ，向 杰 (1．哈尔滨工业大学 超精密光 电仪器工程研 究所，黑龙江 哈尔滨 150080； 2．哈尔滨理3-大学 机械动力工程学院，黑龙江 哈尔滨 150080) 摘 要 ：为 了提高液 晶空间光调制器用于波前校正的精度 ，测试 了美 国BNS公司反射式 256~256 像素纯相位液晶空间光调制器。由于非线性相位响应特性会降低该器件用于波前校正的性能，因此通 过反插值 法将相位调制 曲线的非线性度减小到原来的 1／8，建立 了O-2w 区间内相位与灰度之间的线 性关系。以液晶空间光调制器作为波前校正器，数字相移干涉仪作为波前传感器，对含有高频误差的 不规则波面进行 了测量和误差校正。畸变波前的峰谷值 (PV)由校正前的0．78)t减 小到校正后 的 0．27A，均方根(raMS)由校正前的0．13A减小到校正后的0．02A。实验结果表明：液晶空间光调制器能够 代替传统的变形镜，实现低成本、高分辨、高精度的波前校正。 关键词：波前校正； 液晶； 空间光调制器； 相位调制特性 中图分类号 ：TN761 文献标识码：A 文章编号 ：l007—2276(20O8)06一l062—04 W avefrontcorrectionusingliquidcrystalspatiallightmodulator ZHANG Hong-xin_|，ZHANG Jian，W U Li—ying，XIANG Jie (1．InstituteofUltra-PrecisionOptoelcelronicInstrumentEngineering，HarbinInstituteofTechnology，Hrabin 150080，China； 2．SchoolofMechanicalandPowerEngineering，HarbinUniversityofSciencenadTechnology，Harbin150080，China) Abstract：In orderto improve theprecision ofwavefrontcorrection using liquid crystalspatiallight modulator(LCSLM)，htereflecting256~256pixelsphase-onlyLCSLM from AmericanBNSCorporation wastested．ThenonlinearphaseresponseofLC SLM canlimititsapplicationin wavefrontcorrection．An inverse inteprolation algorithm wasestablished toreduce hte phasenonlinearity to 1／8 ofhteoriginal nonlinearity，and thelinearrelationshipbetween phaseand gray scalewasestablished ranging rfom 0 to 27r．By usingLC SLM asa wavefrontcorrector，and adigitalphase shiftinterferometerasawavefront sensor，an irregularwavefrontwithhigh rfequencyerrorswasmeasured andcorrected．Theresultsshowed