Love波传感器的分析与测试.pdfVIP

2011年 第3O卷 第9期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 143 Love波传感器的分析与测试 李正刚1,2，苗 圃 ，李 锋 ，吴一辉 (1．中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室， 吉林 长春 130033；2．中国科学院 研究生院，北京 100039) 摘 要：为了制作出具有高灵敏度的Love波传感器 ，分析了Love波在 sT石英和二氧化硅薄膜分层结构 中的传播特性，并对该分层结构进行了相关的理论推导和计算。从该结构的声学动力学方程出发，分析求 解了该分层结构的波动方程，并得到了在该分层结构的色散关系式和结构中的位移表达式。然后在所得 到的解析表达式的基础上进行了相应的波结构分析和特性曲线的绘制，并得到了Love波在该结构中的传 播特性。最后应用MEMS工艺制作了由sT石英为基底、二氧化硅为波导层的Love波传感器，并通过电化 学微电铸的方法进行了实验验证 ，对理论灵敏度与实验灵敏度之间不一致的原因进行了分析。测试数据 表明：该传感器的质量灵敏度为 100am ／g，最低检出限为3．65ng。实验结果基本满足Love波传感器进行 高灵敏度生化检测的要求。 关键词：Love波；色散曲线；质量灵敏度；循环伏安法 中图分类号：TP212．1 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2011)09--0143--03 A▲nallysi·sand1m eaSUrem ent·0I．Tl0Ve WaVe SenS0r：l： LIZheng．gang ，MIAOPu ，LIFeng ，WU Yi．hui (1．StateKeyLaboratoryofAppliedOptics，ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics， ChineseAcademyofSciences，Changchun 130033，China；2．GraduateSchoolofChineseAcademyofSciences， Beijing100039，China) Abstract：Inordertogetthepropagation characteristicsofLo vewaveinthelayeredstructureconsistsofST— qua~zandsilica，andfabricatetheLovewavebiosensorwithhighersensitivity，theoreticalderivationnadnumerical computationshavebeenachieved．Thewaveequationshavebeensolvedfrom thedynamicequationsofthelayered sturcture．TheexpressionsofdisplacementfieldhavebeenderivedwiththedispersioncurveoftheLovewavein thissturcture．Basedon theanalyticalexpressionswhichhavebeenderived，thesturcturesareanalyzedandthe characteristiceurvesofLovewavearedrawn．TheLovewavepropagationfeaturesinlaminra sturcturearealso studied．Accordingtothecomputingresultswith thesturcture，theLovewavesensorisfabricatedwithMEMS processesandistestedby