微型热电器件应用的最新研究进展.pdfVIP

Vb16No8 Aug2011 中国科技论文在线 SCIENCEPAPERONLINE 第6卷第8期 2011年8月 微型热电器件应用的最新研究进展 刘大为，李亮亮，李敬锋 (清华大学材料科学-5-工程系，北京 100084) 摘 要：可以用于微区控温、温差发电及测温传感的微型热电器件近年来得到了产业和学术界的广泛关注，其应用 范围已经扩展到集成电路、电子元器件、微机电系统(MEMS)、生物医学工程、国防以及航空航天等多个领域。综 述了近几年来微型热电器件应用方面的研究进展，针对热电能量转换和测温传感等不同的应用背景总结了微型热电 器件的工作原理、结构布局以及材料性能参数的选择方法，并列举、比较了近期国内外文献报道的微型热电器件相 关的一些典型研究成果。 关键词：热电；微型热电器件；热电能量转换；微型传感器 中图分类号：TM913 文献标志码 ：A 文章编号：1673—7180(2011)o8—0574—6 Thelatestresearchprogressintheapplicationsofthermoelectric microdevices LiuDawei，LiLiangliang，LiJingfeng (DepartmentofMaterialsScienceandEngineering，TsinghuaUniversity，Beijing100084，China) Abstract：Inrecentyears，micro-thermoelectricdevices，whichcallbeutilizedasmicro-zonetemperaturecontrollers，power genemtorsandtemperaturesensors，haveattractedmuchattentioninindustryandacademia．Thesedevicesfindapplications inintegratedcircuits，electroniccomponents，micro-electromecbanicalsystemsOV~MS)，biologicalnadmedicalengineering， defenseandaerospace．Inthisstudy,wereviewedhtelatestresearchprogressnihteapplications ofmicro-htemr oelectric devices．Accordnig to hte differentapplicationsforhtemr oelectric energy conversion and temperaturesensnig，we summarizedhtehteories，structurallayoutsnadmaterialsselcetion，nadlistednadcomparedsomenotableexamplesabout micro-htermoelectricapplicationsfrom htelatestreports． Keywords：htemr oelectricity；htemr oelectricmicrodevices；htemr oelcetricenergyconversion；microsensors 热 电能量转换是指一种利用导体或半导体 内的载 速发展，热电技术在废热回收、小功率制冷、测温控温、 流子 (电子或空穴)在温度或电势梯度下产生定向迁移， 野战发电及航空航天等领域得到了广泛的应用 J。 从而实现热能和电能之间相互直接转换的技术LlJ。该技 相比传统的热机和制冷压缩机，热电器件的优势是 术的应用已有百年的历史，最早的应用应属用来测温的 没有移动部件，