功率波动对超高速高功率激光加工的影响.pdfVIP

中国科技论文在线 功率波动对超高速高功率激光加工的影响# 王炜，唐霞辉，秦应雄** （华中科技大学光学与电子信息学院，武汉 430074 ） 5 摘要：随着激光加工行业的飞速发展，高速超高速加工(50m/min)将是激光加工技术的一个 必然趋势。而由于激光功率和模式的微观波动导致高速动态温度场的微观变化，使得超高速 激光加工质量出现严重不均匀性。因此重新建立一个完整的激光时间光束质量对超高速激光 加工影响的理论模型显得很重要，而且对激光加工工业应用具有较为重要的理论意义和实用 10 价值。 关键词：激光物理；激光加工；超高速；功率波动 中图分类号：TN249 The influence of power fluctuations on the super-high speed, 15 high-power laser processing WANG Wei, TANG Xiahui, QIN Yingxiong (School of Optical and Electronic Information, HUST, Wuhan 430074) Abstract: With the rapid development of laser processing industry, Super-high speed laser processing ( ＞50m/min) is an important trend of laser processing. The microscopic fluctuations of 20 laser power and mode will induce large fluctuation of temperature distribution, which leads to the serious unstable quality for the super-high speed laser processing. Therefore it is very important to re-establish a theoretical model about time-resolved beam quality impact on super-high speed laser processing, and those have important theoretical significance and practical value in laser processing industry. 25 Key words: Laser physics; Laser processing; Super-high speed; Power microscopic fluctuations 0 引言 激光加工以其高速度、高精度、高质量、节能环保等特点，已经成为现代加工制造技术 的重要手段。对高功率激光来说，常规切割、焊接速度在 10m/min 以下，表面改性的速度 30 更低。在激光功率和模式都能保证的前提下，高激光功率和高切割速度的组合可以获得更高 的切割效率（低的线能量注入）和更好的切割质量。意大利普瑞玛公司最新推出的 SYNCRONO 激光切割机，切割线速度达到 50m/min，甚至达到80m/min[1]，正在开创一个 高速激光加工的新时代。随着激光器件功率水平的进一步提高，高速超高速加工（50m/min ） 将是激光加工技术的一个必然趋势。 35 近年来，随着高速超速激光应用的发展，传统静态空间光束质量评价面临挑战。激光功 率和模式的波动以及激光加工的影响一直是激光加工技术领域研究的热点问题。 太阳能电池非晶硅层对 532nm 激光较敏感，刻划区边缘的非晶硅层容易因热效应发生