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第32卷第2期 红外与毫米波学报 V01．32，No．2
2013年4月 Millim．Waves April，2013
J．Infrared
文章编号：1001—9014(2013)02—0154—06
吉锣蓬 宽比金属光栅制备及中红外波段传感特性
同17K
郑改革+ 陈云云 徐林华 赖敏
(南京信息工程大学物理与光电工程学院应用物理系江苏南京210044)
摘要：利用纳米压印结合溅射和反应离子刻蚀工艺制备了具有高深宽比的金光栅，使用傅里叶变换红外光谱仪测
得了反射谱线．测量结果显示，只在P偏振光垂直于光栅矢量方向入射条件下才存在共振反射峰，证明了“伪表面
等离子体激元波”的存在．基于严格耦合波分析理论计算了金属光栅的反射率，研究了其作为中红外波段波长调制
型表面等离子体共振传感器的可行性．数值计算表明负级次衍射光波对应的共振反射峰的移动能获得较高的波长
nm／RIU和
灵敏度．对于深宽比为10的金光栅结构，+1级次和一3级次衍射光波对应的波长灵敏度分别为1600
5000 RIU～．
nm／RIU，品质因子分别为20RIU“和60
关键词：高深宽比金属光栅；表面等离子体共振传感器；严格耦合波理论
中图分类号：0436．1文献标识码：A
Fabricationand of ratiometallic
applicationhighaspect gratings
for inthemid-infrared
sensing region
ZHENG Min
Gai-Ge+，CHENYun—Yun，XULin—Hua，LAI
of and University
(SchoolPhysicsOptoelectronicEngineering，Nanjing
ofInformationScienceand 210044，China)
Technology，Nanjing
for with
Abstract：Amethod
fabricatinghighaspectratio(HAR)metallicgratingsusingnanoimprinttogethersputtering
andreactive—ion introduced．Thereflection ismeasuredFouriertransform
etching(RIE)was spectrum by infrared(FT—
will whenthe
inthe reflection
mid—in
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