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IC与元器件 I C C o m p o n e n t s MEMS 上海交通大学微纳米科学技术研究院 张东梅 丁桂甫 姜政 微型机电继电器研究进展* D ev elop ing Tr end s o f N ew El e ctr ome chanic a l Rel ay s 摘 要： 微型化是机电继电器最重要的发展方向之一，MEMS设计和制造技术的进展开辟了机电继电器微型化的 崭新途径。本文系统介绍了典型MEMS继电器的研究进展，简要地比较、评述了它们的优势和缺点。 关键词： 机电继电器；微驱动器；微机械加工技术；双稳态继电器 引言 芯片模块)技术的需要，继电器一是 制成功，并展示出预期的良好特性 继电器是一种重要的控制元 向二维、三维尺寸只有几毫米的微 和诱人的实用化前景，Omron等世 件，具有隔离输入输出电路、切换 型继电器发展；二是向表面贴装继 界顶级继电器供应商也在着力开发 信号/负载、闭锁电路等功能，广泛 电器发展。 MEMS继电器，并力争在近期率先 应用于通信、汽车、计算机、医疗 ¥ 组合化、多功能化、与IC兼 实现产业化。据VDC市场调研公司 机械、安全设备、大型装备、办公 容，将具备更广泛的多种专门控制 预测，如MEMS继电器能以合理价 自动化设备、家用电器等产品之 功能，实现智能化。 格大量市售的话，则其在全球继电 中。目前大量使用的继电器从工作 ¥ 高灵敏度、高环境适应性、高 器市场的份额在几年之内就可以与 原理上可以分为机电继电器和固态 可靠性及多元化。 光MOS继电器相当。本文将简要评 继电器两类，机电继电器具有接入 因此，总体上看机电继电器将 述近期MEMS继电器研究的最新 损耗低、开路阻抗(隔断)高、电流 在保留其优良特性的基础上，更多 进展。 负载能力强和高频传输特性好等显 吸收固态继电器的优点，因此，能 著优点，但是结构比较复杂，响应 够兼容机电式和固态继电器二者优 MEMS继电器 速度较低；固态继电器体积小，抗 点的微型继电器将是未来市场的主 传统的机电继电器主要采用电 击穿强度较好，但是内阻显著高、 宰，基于MEMS技术的微继电器便 磁驱动原理，设计成熟可靠，外围 负载能力较低。因此，市场上占主 拥有这样的潜力。 电路简单易得，MEMS技术提供了 导地位的仍然是机电继电器。然 与传统机电继电器比较， 这样一种可能，以机电继电器金属 而，随着电子器件和产品向集成 MEMS继电器具有体积小、功耗 触点的结构形式设计，同时采用微 化、数字化、网络化和智能化方向 低、响应快、隔离度高、负载.能力 加工工艺实现芯片级集成制造，这 发展，未来机电继电器技术将沿着 强的特点，并且最终可以实现类似 样就集中了上述两个方面的优势。 以下几个方向发展： 半导体技术的集成制造，因此赢得 因此，MEMS微继电器的发展潜力 ¥ 微小型化、片式化。为适应电 广泛关注。基于不同驱动原理的多 巨大，其中基于静电驱动、电磁驱 子设备小型化、集成化和MCM(多 种MEMS继电器相继在实验室研 动和热驱动原理的微型MEMS继 电器最受重视，下面分别介绍其近 *资助项目：国家高技术研究发展计划(863)项目(2003AA404140) 期进展。 信息产业部电子科学研究院基金资助项目(0241308050116)静电微继电器 张东梅：研究生，研究方向：微型继电器制作封装。 静电微继电器结构简单，它以 112 2005.3 I C C o m p o n e n t s