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通过失效分析提高传感器的可靠性 作者:Jon Titus，Test Measurement World特约技术编辑 很多压力传感器只运行在特定环境下，所以当你对传感器和环境之间的关系没有认真考虑的话，你最终得到的可能只是一个无用的传感器，或者一次失败的应用，或者两者兼有。例如，飞思卡尔半导体的MEMS压力传感器的规范描述了操作需要在干燥空气中完成，这需要一个良好的环境。如果改变一下环境，把卡车里面的传感器放到有机化学物质环境里，或者把清洗设备里面的传感器放到电解质溶液环境里，这种暴露的硅MEMS传感器不能长时间保持正常工作。　　通过使用防护涂层，飞思卡尔已经大大提高了传感器在恶劣环境下工作的寿命。但是，为了确保传感器在恶劣环境下依然能可靠地工作而性能不受影响，我们需要花费很长的时间做失效分析和大量实验以得到最佳的防护涂层和最佳的涂层厚度。　　在进行失效分析时，飞思卡尔的工程团队专注于使用电化学技术来确定防护涂层的渗透性、腐蚀速率和粘结性。随着研究的进展，他们还制订了一系列指导原则以指导那些在失效分析时遇见类似问题的工程师。 阻止腐蚀　　为保护压力传感器免受酸、碱或有机化学物质如燃油的腐蚀，飞思卡尔采用等角聚合物作为传感器的防护涂层，如聚对二甲苯C或碳氟化合物或氟化硅凝胶（如图1所示）。　　飞思卡尔的工程师可以同时对72个之多的传感器进行测试。在典型的耐压试验筒（如图2所示）中，工程师可将这些传感器暴露在液态或气态有机材料下。图3所示的简化图为一测试系统，在该系统中开阔的中间区域可以放置一定数量的传感器。这一空间也便于工程师逐一安放传感器。 　　初次测试时使用诸如汽油、变速器油和润滑油之类的测试液，而且不对传感器施加电压。为模仿现实的工作环境，工程师在初次测试之后立即给传感器施加电压进行测试。　　为检测传感器在水溶液中的性能，工程师们起初尝试使用一个类似于测试多个传感器时所用的试验筒。不幸的是，由于不同的传感器处于同一导电溶液中，某一传感器发生的电化学反应会影响另一个传感器所产生的电信号。为将传感器隔离开来，研究团队的技术人员研制出了相互隔离的试验筒。这些试验筒（如图4所示）可用现有的氯化聚氯乙烯树脂管和零件制成。　　在这些单独的试验筒中进行的测试可以获得一致性很好的结果。进行水溶液测试时，可直接将传感器放置在由NOX 或SOX生成的酸性溶液或由清洁剂产生的碱性溶液中。例如，洗衣机中使用的碱性溶液类似于半导体制造厂中刻蚀硅用的刻蚀剂。 ?　　测试时，工程师实时监测传感器的输出电压直至器件失效，引线的断开或器件性能退化都是失效在电学上的反应。这时，研究人员可将传感器从测试环境中取出，应用标准的失效分析方法确定是什么引起失效以及如何解决（图5分别显示了一个新出厂的传感器和被腐蚀的传感器）。　　分析结果使研究人员对失效机理的理解越来越深入，但还未达到透彻的程度。只有等到器件失效后，他们才能对其进行分析检测，这大概需要100天的时间。而在测试期间，传感器的输出并不能提供足够有价值的信息。 　　为能更深入地理解失效的具体过程，研究人员研究了金属－聚合物的粘结性能和腐蚀性能。“当我们明白溶液能透过聚合物防护层扩散并引起腐蚀时，我们知道我们需要更进一步地了解扩散和腐蚀的具体过程，” 飞思卡尔传感器部门传感器研发工程组经理Dave Monk解释说：“一段时间后，我们决定引进一位电化学专家。”这一新的成员使用诸如线性扫描伏安法（极化法）和计时电流法之类的电化学方法对传感器进行测试。 　　电化学101　　电化学测量技术依赖于组成电化学电池的众多设备。该电化学电池包括一个电流表、一个电压表、一个直流电源、三个电极以及测试溶液（如图6所示为电化学电池原理图）。通过改变电化学电池中的电流或电压，然后测量其它量，电化学专家可以推断出大量关于化学行为和溶液的组分或表面化学反应的信息。典型的电化学电池包括一个铂辅助电极或反电极、一个工作电极和一个参考电极。标准的银/氯化银电极可 　　作为参考电极。飞思卡尔公司的研究团队采用EGG Ametek/Princeton Applied Research生产的商用设备进行电化学测量。　　极谱法和极化法或线性扫描伏安法都是通过缓慢地增加电池两端的电压，并检测由此引起的电流变化。在极谱法中，高电流平台的存在表明发生了某种特定类型的氧化反应或还原反应，例如：　　Zn2+ + 2e — Zn　　极谱法实验在很长一段的时间内采用单一的电压扫描，而线性扫描技术使用三角波形的电压，从正电压到负电压进行多次扫描来检测测试溶液。扫描结果中电流峰值的存在表明溶液中发生了诸如氧被还原或产生氢气的化学反应。　　飞思卡尔的线性扫描测试的电压变化幅度为20 mV/s。因为电流需流过电阻不可忽略的传感器涂覆层，所以电流可以