电泳沉积法制备Ba06Sr04TiO3厚膜及介电性能研究.pdfVIP

第36卷 增刊1 稀有金属材料与工程 、bI．36，Suppll 2册7年 8月 RAREMElALMATERIALSANDENG眦ERrNG2007 Augusl 王希林，薛昊，周和平 (清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室北京100084) 摘要：采用溶胶凝胶法制备了钛酸锶钡超细粉体，在纯乙醇中配制成悬浮液，利用电钧c沉积技术在印刷铂的氧化铝 基板上沉积得到了BsT厚膜。通过控制悬浮液中粉体的浓度和超声振荡实现了悬浮液的稳定。电泳沉积过程中通过改 变电压和沉积时间研究了厚膜质量和厚膜的厚度。利用扫描电子显微镜(sEM)观察了沉积物的微观结构形貌，对沉积质 量进行了对比研究。实验结果表明．当外加电场强度为20v，cm。沉积时问为30s时得到的厚膜表面质量较好．厚度适 合。实验发现1200℃烧结温度得到的厚膜致密度较好。x射线衍射分析(xRD)图谱表明烧结后得到的BsT厚膜具有典 型的钙铁矿结构。对厚膜的介电性能测试发现，BsT厚膜有一定的舟电性能，展示了BsT材料的非线性特性。 关键词t电泳沉积；BsT厚膜；介电性能 中图法分类号：TB43 文献标识码：A 文章编号：1002．185x(2007)sl-0935．04 下分散在溶液中的胶体粒子向与自身所带电荷电性 1 引 言 相反的电极定向移动。电泳沉积由两个过程组成． BaTi03与srTi03形成的固溶体【11在20世纪50年首先悬浮在分散介质中的带电颗粒在电场作用下定 代以来得到了深入的研究，其具有如下的优点：介电 向移动(电泳)，其次是颗粒在电极材料上沉积形成致 常数调节方便、高的绝缘电阻、低的介电损耗(高频及 密均匀的薄膜。电泳沉积得到的膜材料往往需要后 低频下)和较高的电容湿度稳定性等。这些优异的介电 续的热处理(烧结)过程，达到沉积层致密无孔。固 性能使得钛酸锶钡固溶体在电子工业有着诸多广泛的 体颗粒(约30“m)或胶体溶液都可用作电泳沉积，适 应用，如动态随机存储器、移相器材料、热释电红外 用范围包括金属、聚合物、碳化物、氧化物和无机 探测器等。钛酸锶和钛酸钡固溶体(BsT)的介电性质随盐类等【4]。电泳沉积技术具有许多其它方法无可比 锯的含量变化，在一定温度范围内是可调的口】，并且 拟的优点口】，近年来广泛应用于制各各种功能陶瓷， 金属复台材料。 保持着钙钛矿结构。对于B钆SrI。TiO】，当驴O．7时呈 现铁电相，当“O．7时呈现顾电相。BsT材料的居里 本实验采用电泳沉积法制备了Ba06sfo。Ti03陶瓷 温度随s加；a比呈规律性变化，其趋势遵循Ja仃等提厚膜，并研究了电泳沉积过程中的控制因素及厚膜的 出的近似公式7}37l}2410为Ba的含量)。烧结制度，最后对BsT厚膜的介电性能进行了测试， Ba06sro4Ti03处于顺电相，其品质因数可以达到2000分析了厚膜介电性能影响因素。 以上，所以本文选择该种固溶体。 2实验过程 陶瓷厚膜材料的制作一股采用改进的溶胶一凝胶 法，或者丝网印刷法。溶胶．凝胶法制作的厚膜厚度通 2．1 loI．gel法制备BsT耪体 常难于超过10mn，而丝网印刷法得到的厚膜往往表 将6．1308g的醋酸钡与3．43552g的醋酸锶以计量 面不够致密，有气孔存在，所以有很多的方法用于尝 比例加入到80 g乙酸中溶解．同时将13．6l“g钛酸 试制作铁电厚膜材料，如蒸发法、溅射法、脉冲激光 四丁酯与