高功率CO2激光器高反膜红外耦合窗热形变的半解析方法的研究.pdfVIP

维普资讯 4 激《光杂=,g,~2oo4年第 25卷第6期 LASERJOUPd~AL(Vo1．25．No．6．2OO4) · 激光器件与元器 · 高功率CO2激光器高反膜红外耦合窗 热形变的半解析方法的研究 史 彭 ，李 隆 ，何化岳 ，李东亮 ，甘安生 (1．西安建筑科技大学理学院，西安710055；2．西北大学光子学与光子技术研究所，陕西省光电子技术重点实验室，西安710069) 提要：为了有效地解决高功率co2激光器高反膜红外耦合窗吸收谐振腔内激光能量产生热效应问题 ，通过对红外耦合窗镀膜参数和工作 特性分析，建立了红外耦合窗热模型。基于热传导方程和边界条件，利用半解析热分析方法得出当c02激光器具有理想的TEM00模式输出时 红外耦合窗的温度场和热形变的计算表达式，同时对影响红外耦合窗温度场分布的各种因素进行了讨论。研究结果与以往将谐振腔内振荡激 光做均匀光强处理作了对比，不仅热模型更符合激光器系统，而且计算出温度场分布也更加准确。研究方法和结论还可以应用到其它具有轴 对称性激光束模式产生的温度场、热形变分析工作中。 关键词：半解析热分析方法；高功率c02激光器；红外耦合窗；高反膜 中图分类号：．I 鹪．1¨ 文献标识码：A 文章编号：0253一Z743(Ze04)06一OOO4—03 Semi—analrticaisolutionofthethermaldistortionoftheHR—coating infi-aredoutput—couplerintIigIIpowerC0218Sel SillP ，LII_otagI’，HE Hua—yue 。LIDong—liang。CAN An一 ，1．FacultyofScience-Xi’arIUniversityofArchitectureTechnology-Xi’an710055，China； 、 、2．InstituteofPhon ics Photo—Technol~；y，andProvincialKeyLaboratoryofPhoto—electronicTechnology．NorthwestUniversity，Xi’aII710069，Claina／ AIJ~za．et：Inordertoeffectivelysolvehighpowerco2laser’sHR—coatingin redoutput—coupleral~orbinglaserenergygeneratethermaleffectproble~n。 overcoating ∞Illetersandworkingcharacteristica,lal~s，thein曲redoutput—couplerthermalmodelisbuilt．Basedontheheatconductequntionandboundary condition-undertheC02ln_-erhavifIg modeloutputtheinfraredoutput—coupler’stemperaturefieldandth~ laldeformationfieldealeuladonexpressions V∞bythesemi—analcalthermalanalysismethod．And relevantparameters。whichwillinfluencetheinfraredoutput—couplertemperaturefielddis— trib．tion-aIediscm~lsimultaneously．Theresultshowsthatcomp~ withthesolutionwhichislookedlasinglightinresonant89,theilrllfolTnliOltintensitydistli． bution。thesemi一 ca1th~ lalanalysismethodintro