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第 1期 使用瑞利散射的理论强度进行异常形状修正的薄膜样品X射线荧光分析
使用瑞利散射的理论强度进行
异常形状修正的薄膜样品X射线荧光分析
越智宽友
((株)岛津综合分析测试中心)
摘 要:对于异常形状薄膜样品，存在着X射线荧光强度不足、分析位置不固定、定量值偏低的问题。借鉴原
来在工作曲线法中采用过的，使用荧光X射线与散射X射线的强度比进行形状修正的方法，将此方法用于FP
法，得到的良好结果。
关键词:PF法;X射线荧光;X射线散射
中图分类号:043 文献标识码:B 文章编号:1003-0514(2005)01-0019一02
X一rayfluorescencespectroscopicanalysisofabnormalshaped
filmsamplescorrectedwithrayleightheoretical
intensityscatteringmethod
HirotomoOCHI
(ShimadzuAnalyticalandMeasuringCenter)
Abstract:Solvetheproblemsexistinginthesampleofthinfilmwithspecialshapebyusingthemethodofcomparingfluo-
rescenceX一rayswithscatteredX一raysandpracticethemethodinFP.
Keywords:PF;fluorescenceX一rays;scatteredX一rays
0 前言 这里大:是荧光X射线的灵敏度系数，TF是理
关于薄膜的X射线荧光分析方法，基本参数法 论强度。理论强度即为来自样品表面的相对强度，从
(以下简称F‘1，法”)已大量使用。采用FP法可以使 而计算含量和涂覆量。此外，测定强度是来自检测器
用块状标准样品对薄膜未知样品进行定量分析。由 的测量强度。灵敏度系数依从于样品表面到检测器
于薄膜的标准样品很少，FP法是薄膜样品分析的有 之间如分光晶体等的效率。散射X射线的测定强度
效手段。 MS可用以下公式表达:
对于涂镀钢线这种的得不到均匀平整测定面的 乃么，=*、TS (2)
样品(以下简称 “异常形状薄膜样品”)，存在着X射 这里，k、是散射X射线的灵敏度系数，75是理
线荧光强度不足、分析位置不固定、定量值偏低的问 论强度。荧光X射线与散射X射线的测定强度比由
题。借鉴原来在工作曲线法中采用过的，使用荧光X 公式(1)和公式(2)的比值表达:
射线与散射X射线的强度比进行形状修正的方法， NIF/MS二k(,.TF)1(k,7S)
将此方法用+FP法，得到的良好结果报告如下。
mils=k幻F、,s、T孔F、,s、 (3)
这里MFF,，是荧光X射线与散射X射线的测定
1 形状修正的原理
强度比，kF,、是灵敏度系数比，TF,、是理论强度比。
荧光X射线的测定强度月才厂可用以下公式表达:
公式(3)说明了测定强度比、灵敏度系数比和理论强
MF=*，.” (1)
收稿日期:2005-01-06
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