晶圆制造系统中Lot加工序列优化的蚁群算法.pdfVIP

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2017-09-11 发布于江西
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晶圆制造系统中Lot加工序列优化的蚁群算法.pdf

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第42卷第10期上海交通大学学报 v01．42No．10 2008年10月 OFSHANGHAI Oct．2008 JOURNAL JIAOTONGUNlVERslTY 文章编号：1006—2467(2008)10—1655—05 晶圆制造系统中Lot加工序列优化的蚁群算法姚世清，江志斌，郭乘涛胡鸿韬 (上海交通大学机械与动力工程学院，上海200240) 摘要：针对半导体晶圆制造系统中设备从缓冲区选择Lot加工问题，提出Lot加工序列优化的蚁群算法，对其进行计算时阎复杂度分析，并给出了该算法的改进形式．该改进算法是根据晶圆制造系统重入特点，基于瓶颈设备构建蚁群算法求解模型，通过迭代仿真最终获取Lot加工优先序列表．仿真结果表明，采用该算法在短期调度区间内，与一般的基于规则的动态调度算法相比，效果得到了显著的改善．关键词：半导体晶圆制造系统；蚁群算法；离散事件仿真；时间复杂度 391．9 中图分类号：TP 文献标识码：A Ant forLot inWaferFabrication AlgorithmSequencing System YAO Zhi—bin，GUO HU Shi—qing，JIANG Cheng-tao，Hong-tao of (SchoolMechanical 200240，China) Engineering，ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai Abstract：Lot basedonant solves lotsfrombuffersto sequencingoptimization algorithm，whichchoosing be insemiconductorwaferfabrication processed system(SWFS)，was corn— ofthis was andthe formwas tothecharacteristicsof plexity algorithmanalyzedimproved given．According reentrantin was the SWFS，the modelofant basedon algorithmdesignedthroughconstructing algorithm bottlenecks，andLot wasobtainediterative can seen eventually simulation．Itbe prioritysequencing by the from simulationresultthatthenew is tocommon rulesinshort—term