窄带滤光片光学极值法直接监控的光学设计.docVIP

窄带滤光片光学极值法直接监控的光学设计 杨聚庆1，弥谦*2 , 梁海锋2 1 河南工业职业技术学院，河南，南阳，473000 2 西安工业大学，陕西，西安，710032 摘要：窄带滤光片是常用的光学组件，它已在光谱学、激光、天文物理学、通信等各个领域得到了广泛的应用。制备带通滤光时，精确的控制每一层厚度比较困难。本文采用光学极值法直接监控工件，可以同时制备多件滤光片。由于工件作旋转运动，光路是固定的，所以监测得到是准方波的信号。设计合理的监控光路和信号获得电路路，探测到准方波的测试信号，从而获得工件上薄膜的膜厚信息。 关键字：窄带滤光片；光学极值法；光学设计 Optical designing of direct films thickness monitoring system using optical extreme value for narrow band-pass filter Abstract: Narrow band-pass filter, as a general optical component, was applied widely in spectroscopy, laser, communication and astrophysics. It is difficult for depositing band-pass filter to monitor accurately each layer thickness. Direct photoelectric extreme monitor method was applied to monitor substrate in our work. Qusi-square optical signal were obtained because of fixed optical monitor position and rotating work piece, and according optical system structure and optical parameters were designed. In addition, each-layer thickness could be calculated from the useful qusi-square optical single. Key words: Narrow band-pass filter; optical extreme value method; optical designing 1 引言 带通滤光片片是常用的光学组件，它是在λ。(?λ 区域高透过率周围是截止区， 它一般可粗略地分为宽带滤光片和窄带滤光片两类。 一般认为， 相对半宽度2Δλ0.5/λ0（通带半宽度/通带中心波长）小于20%或更窄的干涉滤光片属于窄带滤光片，具有20%相对半宽度或者更大相对半宽度的滤光片称为宽带滤光片，带通滤光片的作用是它只允许一定频率范围的光波通过，禁止其它频率的光波通过，将所需要的频率光波从背景光波中分离出来。它已在光学、光谱学、激光、天文物理学、军事等各个领域得到了广泛的应用。 镀制带通干涉滤光片是光学组件镀膜中难度较大的一类，通常镀制需要30层以上，一般窄带滤光片的定位波长比宽带滤光片的定位波长要求高许多，所以镀制窄带滤光片的难度一般比镀制宽带滤光片的难度大很多。 镀制中对中心波长的确定和膜层厚度控制要求较高，所以一般镀膜机镀制窄带滤光片的合格率都很低。镀制窄带滤光片的中心问题，是峰值波长λ0的定位，即滤光片的通带准确地出现在预定的波长位置。为此，在很长一段时期，人们致力于改进滤光片的膜层厚度控制方法，以期望提高定位精度。除了普通的光电极值法以外，发展了“波长扫描法”、“双色法”等新的膜厚控制方法。但是最终发现光学极值法是最有效的监控方法[1][2][3]。 光学极值控制法是应用最广泛的监控方法，极值法监控有两种控制方式：一种是直接控制，全部膜层自始至终直接由被镀样品进行控制;另一种是分离控制，控制室在一系列的控制片上进行的。理论和实践两方面都论证了使用光学极值法直接控制方法对窄带滤光片控制的合理性，其原因在于：第一，相邻膜层之间能自动地进行膜厚误差的补偿（在控制波长上）；其次，避免了因凝聚特性变化所引起的误差。因而使窄带滤光片获得很高的波长定位精度[1][3][4]，光学极值法直接控制方法是目前最有效的镀制窄带滤光片的控制方法[5] 目前,国内外通用镀膜机都是在镀制过程中通过控制比较片膜层厚度来控制零件上的膜层厚度，实际零件上的膜层厚度和比较片上有一固定差别，通过调整波长位置使零件上的膜层厚度满足要求。目前使用它来镀制窄带滤光片：一种是将工件放置在中心比较片处采用直