第六章 薄膜技术.pptVIP

薄 膜 物 理与技术 参 考 书 薄膜生长 吴自勤 2001 科学出版社 薄膜物理 薛增泉 1991 电子工业出版社 ?? 薄膜物理与薄膜技术 杨邦朝 1994 电子科技大学出版社 ? 薄膜材料与薄膜技术 郑伟涛 2008 化工工业出版社 固体薄膜材料与制备技术 宁兆元 2008 科学出版社 ?薄膜技术与薄膜材料 田民波 2006 清华大学出版社 ?? ?薄膜材料制备原理、技术及应用 唐伟忠 ?2003 冶金工业出版社 ?? Film Material Sciences of Microstructures 微电子工艺. Quantum Heterostructures-microelectronics and Optoelectronics, V.V.Mitin et al. 1998. Cambridge University Press ， 主要内容 第六章 薄膜科学发展概况 薄膜材料综述，薄膜研究发展现状。 第七章 薄膜制备方法 真空蒸发镀膜 磁控溅射镀膜 CVD镀膜 主要内容 第八章??薄膜的生长动力学过程 气体分子与固体表面相互作用的模式，表面上的成核模型，薄膜生长模式，台阶生长模式，薄膜成核与生长的原子理论 第九章???薄膜性质的测量方法 薄膜光学性质：光学常数及色散关系，薄膜反射与透射，椭偏光度法 薄膜的电学性质： 四探针、霍耳效应法、热电势法、PPMS 第六章 薄膜科学发展概况 主要内容 1. 薄膜材料应用的广泛性 2. 薄膜材料的相关概念 3. 以Si为基的微电子学的发展 4. 以III-V化合物为主的光电子学的发展 5. 大面积电子学中的薄膜太阳电池 5. 薄膜制备工艺的发展 Have you ever? used a personal computer? used a CD player? used a touching screen in an ATM? used a pair of glasses? Have you realized that without thin film technology, there would be no modern civilization? Worldwide market of raw materials for thin film technology 第六章 薄膜科学发展概况  1. 薄膜材料的广泛应用 MOS CMOS NMOS PMOS IC中最基本的器件（48道工艺） TFTs - 液晶显示 第六章 薄膜科学发展概况  1. 薄膜材料的广泛应用 薄膜太阳电池 15层的InGaP/GaAs 叠层电池， 效率~30% 非晶硅、多晶硅等 光学薄膜 光发射膜、滤光膜等 有机膜 磁性薄膜 储存器 超硬薄膜 薄膜科学技术 薄膜材料、器件 第六章 薄膜科学发展概况 2.薄膜材料的相关概念 薄膜材料的定义 利用特殊的技术手段, 人为制得的、其一维尺度显著小于另外两维尺度的、具有特定性能与用途的材料. 发展: 薄膜是一种具有很大比表面积的层状材料 薄膜是一种生活中广泛使用的非常薄的涂层; 薄膜可以由各种不同材料构成, 能应用到几乎所有的表面; 薄膜材料已经成为材料科学的一个重要的分支. 第六章 薄膜科学发展概况 2.薄膜材料的相关概念 薄膜材料的特点 一般并不是单独存在的 结合了不同材料的不同特性 种类繁多 需要使用特殊的制备与研究方法 为什么要发展薄膜材料 不同材料特性的优势互补 微电子技术、光电子技术的发展 功能性结构的微小型化 第六章 薄膜科学发展概况 2.薄膜材料的相关概念 薄膜材料包括: Metals: Al, Cu, Au …… Glass: SiOx, SiNx …… Ceramics: YBCO, PZT …… Semiconductors: Si, GaAs …… Polymers: PE, PMMA …… 第六章 薄膜科学发展概况 2.薄膜材料的相关概念 薄膜材料技术的研究内容 薄膜材料的制备技术手段