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CoreTech E-paper Vol.27
Tof-SIMS (飞行时间二次离子质谱仪) Tof-SIMS (飞行时间二次离子质谱仪)
新一代俄歇电子能谱仪
对生物样品的应用对生物样品的应用
简介
PHI 710 AE S
型扫描俄歇电子能谱仪 ( ) 在继承同轴筒
近年来,随着生医产业的蓬勃发展,
C MA
镜 ( )分析器设计同时 全面提高了表征材料成分
加上中国在相关科技的发展计划,生
的能力和亚微米级二次电子成像的能力;另外 710 型扫
物科技早已变成中国政府主力的扶植
描俄歇电子能谱仪 也具备精细能量分辨模式 可从俄歇
产业之一,学术与业界对于生物样品 ( 图1) 710 型扫描俄歇电子能谱仪
图谱 成分分布图以及深度剖析中 识别元素的化学态
的分析技术也日趋成熟。高德英特身
新一代俄歇电子能谱仪
PHI 710 1
型扫描俄歇电子能谱仪(见图 ) 采用超低噪音的电子控制器 二次电子闪烁计数器 以及低电压浮动离子
为世界表面分析领导者Ulvac-Phi公
枪和五轴全自动样品台 分析人员通过S martSoft AES ™可轻易地采集材料的俄歇电子图谱;配合ULVA C- PHI的数据
简介
司在中国的唯一代表,特别在本期电
还原软件Mult iPak ™ 可以迅速识别采集的图谱
PHI 710 AE S
型扫描俄歇电子能谱仪 ( ) 在继承同轴筒
子报分享ToF-SIMS(飞行时间二次离
C MA
镜 ( )分析器设计同时 全面提高了表征材料成分
子质谱仪)在生物样品上的相关应用,
的能力和亚微米级二次电子成像的能力;另外 710 型扫
710 型AE S应用举例
以供现有及未来的客户做参考。
描俄歇电子能谱仪 也具备精细能量分辨模式 可从俄歇
( 图1) 710 型扫描俄歇电子能谱仪
710 型AE S集成了新的电子控制器并整合了数
图谱 成分分布图以及深度剖析中 识别元素的化学态
据处理软件 让化学态成像变得轻而易举 采
至于ToF-SIMS可以做生物医学样品的研究是因为以下五个优点:
PHI 710 1
型扫描俄歇电子能谱仪(见图 ) 采用超低噪音的电子控制器 二次电子闪烁计数器 以及低电压浮动离子
用精细能量分辨模式俄歇获得化学态成分像
1. 较大的视野
枪和五轴全自动样品台 分析人员通过S martSoft AES ™可轻易地采集材料的俄歇电子图谱;配合ULVA C- PHI的数据
其每个像素点均包含一个谱图
2. 可以提高大面积的质谱分辨率
还原软件Mult iPak ™ 可以迅速识别采集的图谱
S i
右图是 基半导体样品采用精细能量分辨模式
3. 针对凹凸不平的表面,可调整其能量接收的角度 (Energy acceptance angle)
S i
表征 的多种化学状态
4. 可以调节接受窗口的能量
710
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