溶胶凝胶法制备BaxSr1xTiO3薄膜及其性能研究.pdfVIP

摘要 本文f采111irrllX-凝Il;刀、cSol-geli1:)制务11勺‘Ba,Sr,_,IiO;iBsr 薄 膜的I一艺进行J’初步研究，制备出l’光滑均 的BSTl}qlly 对小同情况 h制各出的薄膜的结构进行J分析研究，币点刊BST游N-的介}匕性能进 行了研究，井尝试刘实验结果做出解释 分胶的制备III，环境All.lx·水分、稳定Jffl的，匕例以及、胶的浓度对所 制备薄膜质量有较人影响 在后处AlI:艺 】，了h1)ijx(?nICI;{今，发19,,133r会},?11乡!了「700C一800C I[寸结晶较好，Ifi了在700C以 卜，BSriVIK,+基才、处J几}I-I,,HI态。利)I1XRD图 潜，实验，}，还观察到j退火泞致的Ti0:小.岛，分析r它对BST浓学膜结品 所做的}IIixo) MBST薄膜的介}Lft能进行研究，从儿方而入于。着_:研究了BST 薄Ilk的介}LtI能随着频率变化的关系;BST薄R的介电性能随Ba/S:比例 变化的关系;BST薄膜的介电性能随厚度变化的关系:以及Ba,.,Sr,,,,Ti03/ Baa6Sr.QTiOs(BSr46/BST64)多层Iln!i[3assrSTi03(I3ST55)}II;-III的介ILl性 能的差别。 在薄膜的铁I匕性能力一而，实验,11I-末能观察到较好的电滞回线，但提 出了相应的解释和进 一步研究的方向。 关键词:Sol-gel斌BST IIl=11君介电，铁lk, Abstract 八bstract TetragonalBa,Srj-Ji03(BST)thinfilmshavebeenpreparedon Pt/Ti/Si02/Sisubstratesbysol-gelprocessing.Dielecticpropertyand ferroelectricpropertyofthefilmsareinvestigated.’Trialexplanationtothe resultsisgiven. Detailsoftheexperimentsarepresentedinthisarticle.Inwhich, temperature,humidityoftheambientandthestabilizingagentarefoundto playimportantrolesingettinghighqualityBSTthinfilms. PosttreatmentsofthefilmsshowedthatBST thinfilmsget crystallizationataround700℃一8000C.Whenannealingtemperaturegoes downtolessthan7000C,itshardforBSTthinFilmstocrystallize. TheDielectricpropertyofthefilmsisresearchedindetail.The DielectricConstant(:，)changesasthefrequencyincreases,astheBa/Srratio changesandasthethicknessofthefilmchanges.DifferenceofDielectric PropertybetweenBao.4Sro.6TiO3/BaO.6Sro.4TiO3(BST46/64)multi-layerthin filmandBao.5Sroji03(BST55)thinfilmisshown. Unfortunately,nogoodferroelectricloopisobservedintheexperiment. GraduateStudent:ZhuWei-bong