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47, 041401 (2010) ©2010 中国激光杂志社
doi: 10.3788/lop47.041401
具有金属纳米颗粒结构的微小孔面发射激光器
1 1 2
高建霞 王岭娥 宋国峰
( 1 河北理工大学信息学院,河北 唐山 063009; 2中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室,北京 100083)
摘要 在普通 850 nm 垂直腔面发射激光器基础上制备出带有金属纳米颗粒结构的微小孔径垂直腔面发射激光器。
当小孔和金属颗粒的直径分别为400 nm 和 100 nm 时,其最大输出光功率达到 0.5 mW 。介绍了该器件的制备工艺,
从实验和理论两方面验证了金属纳米颗粒结构激发局域表面等离子体,从而使输出光功率得到提高。
关键词 激光器;局域表面等离子体;金属纳米颗粒;输出光功率;时域有限差分法
中图分类号 TN248.4 OCIS 140.39480 160.4236 文献标识码 A
Nanoaperture Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser with
Metal Nano-Particle
Gao Jianxia1 Wang Ling′e1 Song Guofeng2
⎛ 1 School of Information, Hebei Polytechnic University, Tangshan , Hebei 063009, China ⎞
⎜ ⎟
⎜ 2 ⎟
⎝ Nano − Optoelectronics Laboratory , Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, China ⎠
Abstract Nano-aperture vertical-cavity surface-emitting lasers (VCSELs) with metal nano-particle are fabricated based
on common 850 nm VCSELs. When the diameters of the aperture and the metal nano-particle are 400 nm and 100 nm
respectively, the maximum far-field output power reaches 0.5 mW. The fabrication process is introduced and the output
power enhancement due to localized surface plasmon is also analyzed by experiment and theory.
Key words lasers; localized surface plasmon; metal nano-particle; output power; finite-different time-domin
1 引 言
由于受到光学衍射的限制,传统的光存储技术能达到的存储密度有限。因而,利用近场光存储实现超
高密度信息存储已经得到越来越多的重视[1,2] 。高质量近场光源是一个重要的研究方向。在应用过程中,
对于近场光源一个突出的问题就是实现高输出功率密度。为了进一步改善和增强纳米光学研究和应用技术,
近年来引入了表面等离子体
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