液晶面板CELL生产流程.docVIP

长沙民政职业技术学院 2011届 毕 业 实 践 报 告 系 别：电子信息工程学院 专 业：应用电子技术 班 级：电子1131班 液晶面板 CELL生产流程 指导老师：李桂平 姓名：杨浩宇 学号：1119013147 姓名：朱知荣 学号：1119013142 姓名：唐辉辉 学号：1119013111 姓名：周玙璇 学号：1119013143 目 录 摘 要 I 第1章 概述 5 1.1 液晶面板简介 5 1.2 CELL工程概要 7 第2章 液晶面板CELL制造流程（前工程） 9 2.1 PI前洗涤.. 9 2.2 PI印刷.... 11 2.3 RUBBING(配向) 13 2.4 GAP工程... 15 第3章 液晶面板CELL制造流程（后工程）..............................24 3.1 CPS（CUTTING WITH PENETRABLE SCRIBE）...........24 3.2 GRINDER （研磨清洗）...........24 3.2 AUTO PROBE(检查)...........24 第4章 总结 38 第5章 结束语 38 参考文献 39 【摘要】 TFT-LCD 液晶显示屏是薄膜晶体管型液晶显示屏，也就是“真彩”（TFT）。Cell工程目的是把Array工程制作的TFT基板和彩膜（CF）基板，经过一系列处理后真空合贴成合格的液晶屏（Panel），流到模组（Module）工程。 关键词：TFT-LCD?Cell 工程、TFT基板、CF基板、真空合贴 第一章 概述 1.1液晶面板简介 　TFT（Thin Film Transistor）即薄膜场效应晶体管。所谓薄膜晶体管，是指液晶显示器上的每一液晶象素点都是由集成在其后的薄膜晶体管来驱动。从而可以做到高速度、高亮度、高对比度显示屏幕信息。TFT属于有源矩阵液晶显示器。 （液晶屏基本结构） 1.2 CELL工程概要 TFT-LCD?Cell 工程是阵列制程的后工序，它是以前段Array的玻璃为基板，与彩色滤光片的玻璃基板结合，并在两片玻璃基板间灌入液晶(LC)。主要工序包括：清洗、PI涂布、RUBBING配向、LC液晶DOTTING(GAP)、SEAL涂覆(GAP)，真空贴合(GAP)、切割(CPS)、研磨（GRIND）、检查（AUTO PROBU）等。 液晶面板CELL制造流程（前工程） 2.1 PI前洗涤 清洗方法： 洗净方法的类型 用途和特征 湿式清洗 化学清洗 药液清洗 多量有机污染物的去除，需根据污染物选择溶剂 纯水清洗 用于上述药液的去除，但附着粒子去除不充分 物理清洗 滚刷清洗 （Brush） 用于去除强固吸附的大粒子(３μｍ以上)，但不适于微小粒子的去除，可与化学清洗组合使用 高压Jet 用于去除中等粒径（1-3μm）的异物粒子 超声波清洗 用于除去小粒径（1μm以下）的异物粒子 Hyper Mix 利用气液混合方式除去中小粒径的异物粒子 干式清洗 低压水银灯UV 可以用于除去膜状有机物，并且可以提高成膜的涂布性 EUV 作用同上，但是EUV的清洗效果更好 洗净原理 UV(EUV)洗净 紫外线（UV）使O2生成O3 ，并进一步分解为具有强氧化性氧自由基（O）,使有 机物氧化分解达到洗净效果。 EUV的原理相同，只是其波长更短（即光子能量更高），产生O的能力更强，因而 洗净效果更好。 Brush(滚刷)洗净 利用滚刷在一定压入量（压力）的条件下，在基板表面旋转时产生的机械剥离力 将异物粒子除去。它针对的主要是大粒径的异物粒子。 基板干燥方法： 空气刀（Air Knife）干燥：空气刀是使用高压干燥空气从狭缝中吹出，将停留在基板表面的纯水除去。经过气刀干燥的基板还需要进一步干燥。 IR干燥：利用高温加热(IR)的方式将残留在基板表面的水分彻底除去，IR干燥只能用于除去少量水分，干燥效果与加热温度和时间有关。基板经过IR干燥后需要冷却，一般有冷板（Cold Plate）型和空冷型。 2.2 PI印刷 配向膜印刷目的：配向膜印刷工艺的目的是在TFT基板及CF基板上均匀的印刷一层可使液晶分子取向的配向材。所使用的配向材为聚酰亚胺(PI，Polyimide)。PI在大面积均匀性、涂覆性、摩擦性、取向控制力、化学稳定性以及对液晶兼容性等方面均优于其它高分子。 PI设备构成及其作用 PI印刷机 在GLASS上面，将PI膜用薄膜印刷的设备 预备干燥炉 PI在高温（50~150°）P