碳纳米管场致发射阴极电子枪的电子光学研究.pdfVIP

24．碳纳米管场致发射阴极电子枪的电子光学研究 陈心全1，刘京1，王琦龙H，崔云康1’2，狄云松1’3，赵健1，黄倩倩1，张晓兵 I} (1．东南大学电子科学与工程学院，南京2[0096；2．南京工程学院基础部，南京211167；3。南京师范 大学物理科学与技术学院，南京210097) E-mai 1：northrockwql@seu．edu．cn bell@seu．edu．cn 摘要：基于皮尔斯电子枪设计理论，本文提出了一种碳纳米管场致发射阴极电子枪的电子光 学设计方案。电子枪阴极半径为0．5mm，保持阴阳极电压不变，动态调整栅极电压，并利用 CST软件对其进行仿真优化研究：结果表明，栅极最佳电压值为一14kV，对应阴极发射电流 为15．08mA，阳极处电子束半径约为0．1mm。研究为后续器件的设计和加工奠定了基础。 关键词：碳纳米管；场致发射；电子枪；电子光学 引言 微波真空电子器件作为最重要的真空电子器件之一，被广泛应用于微波电子 系统中，并且在可以预见的未来二三十年中，以行波管、速调管、磁控管和回旋 J。 管等为代表的微波真空电子器件，将仍然是军事装备中最重要的核心器件之一ll 电子枪作为微波真空电子器件的核心部件，其发射电子注的质量很大程度上决定 了器件性能的优劣。传统的微波管主要采用的是热阴极电子枪，限制了器件向微 型化和集成化方向的发展；与传统的热阴极相比，场致发射阴极具有体积小12J、 瞬时启动、电流密度大和室温工作等优点而备受关注【j】，其中半导体或金属微尖 阵列阴极已取得了一系列成果【4-61，但是由于其加工难度大、成本高，使其至今 仍未获得广泛应用。碳纳米管(CarbonNanombe)【7J场致发射阴极以其易加工、 制备成本低、阈值场强低、发射电流密度大和使用寿命长等诸多优点而倍受青睐， 并且也已经取得一系列重要进展【2，8，纠。 为实现碳纳米管场致发射阴极在真空微波功率器件中的应用，本文在前期研 究【3，Ⅲ。4J的基础上，根据皮尔斯电子枪(Pierce electron．gun)设计理论，利用CST 软件对碳纳米管场致发射阴极电子枪进行了初步电子光学设计与研究。 设计与仿真 1．皮尔斯电子枪(Pierce electron．gun)【15】 所有线性注微波管电子枪的工作原理几乎相同，且大部分为皮尔斯电子枪， 其主要 聚焦电极囫 阳极 芝羽 极■ {} 艮勿 圈 图1皮尔斯电子枪示意图 差别在于不同功率要求下电子枪的尺寸、工作电压和发射电流存在差异。在微波 管中，电子枪用于产生适于与微波电路互作用的电子注，主要由阴极、控制电极 (聚焦极或控制极)和阳极等几部分组成，是微波器件的核心部件。图1为皮尔 斯电子枪的结构示意图。 由于本实验中碳纳米管场致发射阴极为平板阴极，所以我们这里仅讨论平板 阴极形成电子注的情况。如图2所示，当不存在电子时，平板二极管中的等位线 是平行的，且对于相等的电压增量，间隔相等，对应图中虚线；当大量电子存在 时，等位线发生右偏，对应图中的实线。当电子离开阴极后，由于电子的相互排 斥作用，电子轨迹呈发散状。 处于阴极电 靴线 l，可‘阻瓠 位的电极 奎 l l彳