微脈衡式熱管熱傳及可視化研究.pdfVIP

微脓衡武热管热傅及可视化研究 杨惶祥1、鄞宇棋2、鄞名山1、简固祥1、何昆霖2、徐金城2 1工棠技街研究院缘能舆瑗境研究所 2固立高雄魔用科技大孥橇械工程系 摘要 本研究利用微栈鼋技街於矽晶圆上裂作微脓衡式热管，蓝透遏赏验舆可视化方式分析其 ntlll×40mlil×1．025 mm，共有64僚宽500 热傅性能。微赈衡式熟管外靓尺寸分剔岛35 pm及 300 pm交错排列之平行矩形溥槽，微流道像利用盛庶耦合式雹浆蚀刻系统封矽晶片蚀刻250 um所得，蓝使用防桎接合矽晶片及已透遇雷射技街穿孑L-e_玻璃片以封装流道，韭分剔充填去 雄子水、甲醇及介鼋液HFE．7100作舄工作流醴，赏验结果颓示微脲衡式熟管以甲醇及贪雹液 HFE．7100作舄工作流髓可成功殷勤韭有效提弄热傅效能，相较於焦流道之矽-玻璃檬品於加热 瓦数10W畸可降低约23％熟阻，耆加热瓦数提弄至19W畸更可较集流道之矽一玻璃檬品降低 56．3％之熟阻，赏验结果亦颠示去雄子水因岛其流髓性赏而熏法成功作勤。 尉键≠?徽．|jJ良衡式热管、可视化、微横鼋技街 1．前言 温室效虑舆能源短缺所尊致瑗境恶化及能源债格飙升同题使筇能虚品需求庚受全球重 视，而照明装置所消耗之鼋力估德消耗鼋力相耆大比重，傅统白蛾烃或鳖光烃在鼋·光耨换的 遏程曹中皆畲造成桎大的能源损失，故筇能照明虚品的期餮具有相耆筇能及市埸需求潜力。 骚光二桎醴(LightEmittingDiode，LED)是由半尊醴材料所袋成的凳光元件，其蹬光基本原理 岛在元件本身雨徊鼋桎端子盟施加鼋屋蓝通入桎小的鼋流，经由鼋子鼋洞的结合将剩馀能量 以光的形式激骚出来。LED本身具有耗鼋量低、元件毒命畏、熏须缓烃畴圈、反虑速度快、 Industry Development [1】，若能全面取代目前日常生活中的照明器具，估计将可筇省50％的照明雹力及10％的熄鼋 力消耗，蓝且减少2德顿二氧化碳排放量。故LED被视岛取代傅统光源的新典光源，且已普遍 的愿用於日常生活中。 的能量则蒋换成舄赓热，若燕法有效地将赓热散出，将畲尊致LED内部元件温度升高，LED 在高温的操作瑗境下，不只畲使LED的使用毒命减少，速带的骚光强度也舍因此而降46,[2]’ 故LED照明模组需攘有完善的散热系统以鹱得可稳定逗作之照明系统。相较於傅统雹子散热 系统、LED光源的袋熟量韭不高，同题在於LED热量集中所尊致热黑g(hotspot)形成，如3W 要维持LED的餮光效率及减缓光衰遇程，解泱热集中罔题已然成乌闵凳高功率LED魔用虚品 之嗣键技衍。 ’热管(Heat Pipe)J利甩相燮化方式以及毛细力或重力使工作流髓回流连到热量傅遗功 能，具桎佳熟傅尊性能。早期递用於航太领域、军事骚展、工桨用途，而现在已普遍逞用到 各式热交换器、冷各P器、天然地热引用等等，搪任起快速热傅尊的角色，更是雹子虚桨界中 最普遍高效尊热元件。一般热管需有毛细结耩提供液髓回流峙之焉甚勤力，因此在裂作方面鞍 Heat 岛袒稚，相封亦舍提高其裂作成本。脓衡式热(Pulsating Pipes),-亦被耩岛振盗式热管 (OscillatingHeat Pipes)，是由数佃弩曲管路所槽成的元件，利用管路内工作液髓受热所虚生的 於此项技衡不需毛细结耩可降低裂作成本，更通用於阳骚微型他的热管虚品。 贩衡式熟管之密展是以1964午Suo【4】之研究成果鸦基磋，其研究指出雨相流工作流髓在 水平放置管路中，耆液髓由汽憋冷凝成液憋畴，畲在所虚生的汽泡舆管壁之蠲舍虚生一厝液 憋薄膜(Liquid Film)，曹液憋薄膜的厚度厚