六层刚挠结合板通孔等离子清洗研究.pdfVIP

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2017-09-04 发布于安徽
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六层刚挠结合板通孔等离子清洗研究.pdf

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PIasma DesmearResearchoflh Holein rough S叫ayerRigid·fle×刚nled ClrcuitBoard 六层刚挠结合板通于L等离子清洗研究 Pa口erCOde：A—042 闱国云f叮为E守绪 IUr科技夫学电子薄膜与器件国家重点实验室，叫川成都何波王淞莫芸绮珠海／L盛电子科技股份自限公司技术巾心．广东珠海电话：028 传真：02883203218E com 作者简介刷闱i．2007年奉科毕q盱IU子科技大学．现就读电子科技人学应州化学系硕十研究生，20。8年因产学研台作派驻珠海』L盛电子肚份何限公司技术中心从事刚挠特舟板关键技术研究。联系地址四川省成都市电子科技』=学微吲学院光电楼106窀邮箱 zhou￡uovun2008@l63com 摘要：六层刚挠结台板由于其通7L线路层数多，深径比』’，在等离子清洗时总是…现层问清洗小均匀，jL壁过r粗糙，玻璃布处清洗过量等问题。本文通过研究等离子在孔内的渗透能力与币同气体舍量之司的关系确定等离子清洗的总体含量，井研究不同的c^0：比例对等离了屡间均匀性，玻璃布址清洗程度影响．最终确定^层刚挠结合板的等离子清洗的参数。清洗后的通孔经孔金楫化后，可靠性高，经过两挑热冲击(280℃，10秒)后孔壁依然良好。关键词：刚挠结台扳，博离子清洗，逋孔，渗透能力 conducclve b0删，Ihe㈣h1鹭ll Abstract：1n川一】3y…目d—ncx 1ay㈣ndthmu曲hole5wlmh1曲rmlo oi todI…Ier de…Ⅱin depth I”pl㈣des咄pr㈣s，hoIewa】】problem8such…onunlf(mm dlfIemnt excesslve Jayers，excessl㈣“ghne％anddc5me1n￡IasscloIhmn…umlvaD口eⅡedInIhIs Rlanon a【Id㈨ustotal p8pc^【ne be【wee“penetrmIon mde【e删ne pI…a￡as…nt川s曲mlned hcH11…仙enc…f ofdlHercnt exccsslve d—e“93㈣oun【I CR：02【omeunlmnuI‘y lavc…nd cIoth wcrc pan al…searchcdWi【hlh㈤uh des批l“g】ass above，pl…ap咖ter5f盯slx．1aver dek㈨edA^eo the thmu曲ho】…m two pla*dthDu曲holeexpressedm曲mⅡabjlity．ev…ner lhe皿alshockksts f280℃，10sccs