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2011年9月 第十七届全国混合集成电路学术会议论文集 合肥
S波段大功率数字移相器工程化研究
邹军
(南京电子技术研究所，国防科技工业军用微组装技术研究应用中心，南京210039)
摘要： 本文分析了S波段大功率移相器的原理和移相器的多项关键制作工艺。通
过对制作的移相器进行批量测试，微波性能较好，具有插入损耗小、移相精度高、耐功率大
等优点。对测试的幅相数据进行一致性分析，表明过程控制能力较好，成品率较高。
关键词： 大功率移相器；PIN管；大面积焊；幅相一致性；成品率
Phase
ResearchofS—BandPower Shifter
Engineering High Diigital
Zou
Jun
of
ResearchInstituteElectronics
(Nanjing Technology，DefenseTechnologyIndustry—Advanced
Studiesand
Technology ApplyingCenter，Naming，210039，China)
andcriticalfabrication ofS—band shifteraleaIm
Abstract：The hishpower
principle processes phase
inthe bmch ofthe shifters microwave is fea-
lyzed paper．Bytestingphase fabriemed，theperformancebetter，it
taressmall of tO theconsistent
insertion
loss，hi【st,accuracyphase—shifting，resistancehighpeweretc．Through
of and isshownthatthe of controlis of
data，it abilityprocess
analysistestingamplitudephase good，theyield
finished is
producthigh．
area
KeyWords：highpowerphaseshifter，PINdiode，largewelding，phase—amplitudeconsistency，the
offinished
yield product
束的控制越精细，但移相器本身及控制电
1 引言
路也越复杂。包括开关线型移相器、加载
移相器的应用十分广泛，比如各种通 线型、耦合器型、高低通型移相器。每种电
讯和雷达系统、微波仪器和测量系统。在 路结构各有千秋，必须根据系统要求，选择
相控阵雷达
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