偏心驱动下气浮支承精密运动平台的稳定性和精度分析.pdfVIP

· 机械制造 · 左昊诚，等 ·偏心驱动下气浮支承精密运动平台的稳定性和精度分析 偏心驱动下气浮支承精密运动平台 的稳定性和精度分析 左昊诚 ，姜伟 ，张鸣 ，王婧 (1．华中科技大学 数字制造装备与技术国家重点实验室，湖北 武汉 430074； 2．清华大学 精密仪器与机械学系，北京 100084) 摘 要：为了降低偏心驱动对气浮支承精密运动平台的精度和稳定性的影响，建立了偏心驱动 下运动平台的理论分析模型。采用无量纲的偏心率表征驱动力位置和检测位置的偏心，分析 了偏心率对系统稳定性和精度的影响规律。根据实际精度和稳定性指标要求，提 出了偏心率 设计准则。即在设计精度决定的控制带宽下，保证合理的稳定性裕度，偏航和俯仰方向偏心率 的控制范围。所提方法已用于气浮支承精密运动平台的设计，试验结果表明运动平台的位置 跟踪误差在设计要求 内。 关键词：精密运动平台；偏心驱动；偏心率；建模；设计准则 中图分类号：TH138 文献标志码：A 文章编号：1671—5276(2014)01．0011-02 StabilityandAccuracyAnalysisofPrecisionMotionSatgeW ith AirBearingsUnderEccentricDrivingForce ZU0 Hao—cheng ，JIANG Wei，ZHANGMing ，WANGJing (1．StateKeyLabofDigitalManufacturingEquipmentandTechnology，HuazhongUniversityofScienceTcehnology， Wuhan430074，China；2．DepartmentofPrceisionInstrumentsandMcehanology，TsinghuaUniversiyt，Beijing100084，China) Abstract：Atheoreticalmodelofprecisionmotionstagewithairbearingsundereccentricdrivingforceissetupinordertoreduceits influenceonaccuracyandstabilityofthesystem．Thedimensionlesseccentriciytistakentorepresenttherelativedistancesbetween centerofgraviytanddrivingforce．Theinfluenceofeccentriciytonstabiliytandaccuracyisanalyzed．Designcriterionofeccentricityis proposedtosatisfythegivenstabiliytandaccuracy．Inordertokeepreasonablemarginofstabiliyt，eccentricityofbothpitchandyaw shouldbekeptintherangecalculatedbycontrolbandwidth，whichisdeterminedbythegivenaccuracy．Themethodisusedinde- signofprecisionmotionstagewithairbearings，anditsexperimentalresultshowsthatthismethodisusedtomeetthegivenrequire- mentsofthestagepositionerror． Keywords：precisionmotionstage；eccentricdnvingforce；eccentriciyt；modeling；designcriterion 时对偏心驱动、测量不作特别考虑的话 ，可能会造成运动 0 引言