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浙江理工大学论文
摘 要
在超精密加]二、微电子工程、纳米科技等精密工程领域，需要高精密的微运动，
因此高性能的微动工作台足这些领域中的重要仪器设备。论文系统地阐述了国内
外微动工作台的发展概况和发展趋势，在参考现有微动工作台的基础上，构造了
一种基于交直流混台驱动的磁悬浮式微动工作台，以实现大范围、高精度和∈自
由度的微运动。
本论文分别建立了直流驱动和交流驱动的动力学模型。对于直流驱动部分，根
据电学和力学原理，推导出直流驱动的非线性数学模型，在平衡点处做线性化处
理后，建立了单质点直流驱动的动力学模型；对于交流部分，本文对交流驱动的
磁场进行分析，利用麦克斯韦应力张量法推导出交流绕组产生驱动力与电流的关
系，为设计、分析及控制提供参考，通过Ansoft软件进行有限元电磁场仿真，得
到交流绕组所需电流、悬浮气隙等控制参数。
刘应用于磁悬浮式微动工作台控制系统中的多种控制方式和手段进行总结，提
出将H。。控制方法引入磁悬浮式微动工作台的控制。本文利用f如控制理论的混合
灵敏度方法，根掘磁悬浮式微动工作台受到扰动情况选择合适的加权函数，设计
出能使其稳定且具有良好鲁榉性的Hoo控制器。并针对磁悬浮式微动工作台设汁了
真和实验结果分析，对磁悬浮式微动工作台的稳定性、动态品质和鲁棒性等指标
进行比较，证明Hoo控制方法对于提高其性能品质和克服模型误差的影响方面具
有优越性，同时对于抑制不确定性扰动有良好的效果。
本文在分析磁悬浮式工作台的构成及工作原理的基础上，提出了利用
MATLAB／xPC方法实现对磁悬浮式微动工作台实时控制的构想。确定了利用
MATLAB
真模型下载到实时内核中运行，驱动外部硬件设备，实现对磁悬浮式微动工作台
的控制，通过实验验证该方法的可行性。
关键词：磁悬浮式微动工作台，Halbach永磁阵列，Hoo控制，Matlab
浙江理工大学论文
Abstract
In fieldsuchas
precisionengineering precision
and micro—motionis neededSo
precision
engineeringnanotechnology,high
micro．motionwith isacrucialinstrumentinthesefields．Inthis
stage highperformance
micro·motioninChinaandothers
thesis，the statusandtrendofthe stage
development
Micro·-motion
ccuntriesarediscussed anovel Levitation
Magnetic Stage
generally,and
on AC andDC is
(MLMS)basedhybridactuationby windings electromagnets
withwide andsix
earlrealizemicro-motion
proposed，that range，highprecisiondegrees
of眈edom．
modelsof
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