基于激光干涉仪的数控机床几何误差辨识与补偿.pdfVIP

第 28卷 第 6期 兰 州 交 通 大 学 学 报 Vo1．28No．6 2009年 12月 Journal0fLanzhouJiaotongUniversity Dec．2009 文章编号 ：1001—4373(2009)060046—04 基于激光干涉仪 的数控机床几何误差辨识与补偿 张 娟 ， 高锋阳 ， 蒋兆远 (1．兰州交通大学 机电技术研究所， 肃 兰州 730070；2．兰州珏}{业技术学院 机电_1：程系，Ir肃 兰州 730070) 摘 要：利用RenisawMi10激光干涉仪测量机床误差，采用九线法对三轴数控机床误差参数进行辨识 ，结合具体 机床，准确建立了误差补偿的数学模型，利用误差补偿软件实现了误差补偿，显著地提高了数控机床的加工精度． 关键词 ：数控机床 ；几何误差；激光干涉仪 ；九线辨识法 ；误差补偿 中图分类号：FH161；I(；659 文献标识码：A 随着生产过程 自动化的高速发展和精密加工技 N— I 出 (1) 术的广泛应用，对数控机床加工精度的要求 日益提 由于 ’一2(v／c)f；而 —dl／dt；f=c／a；所以 高．通常尺寸精度是决定数控机床加工精度的最重 rr r￡ 要因素，而数控机床的几何精度是影响尺寸精度的 N—lAfdt一 (2／2)Idl一2z／a (2) √O √O 直接原因．影响数控机床加工精度的因素很多，如几 故测量距离 一 (／2)N (3) 何误差、热误差、力误差和随机误差等，其中几何误 n二=] 式中：N为累计脉冲数；为激光波长；C为光速． 。 差对数控机床加工精度的影响最为显著[．所 以，通 过一定的检测手段辨识数控机床的几何误差并进行 误差补偿，对提高数控机床的加工精度具有十分重 要 的意义． 1 激光干涉仪误差测量 1．1 激光干涉仪测量原理 如图 1所示，激光干涉仪是利用光的干涉原理 1．激光器；2． 片；3．分光器；4．检测器；5．接收器； 6．偏振分光器；7、8．反射镜；9．棱镜；10．偏振器；l1．接收器 和多普勒效应产生频差的原理来进行检测的．两束 振幅相同，频率分别为 ．厂】和 的左右圆偏振光由 图 1 激光干涉仪测量原理 图 激光器1发出，经；／4片后变为振动方向垂直的线偏 Fig．1 Laserinterferencemeasurement 振光．分光器 3将一部分光束反射，经检偏器4形成 1．2 激光干涉仪测量方法 频率分别为-厂j和 的信号，由接收器5接收为参考 具体测量过程分为 信号；另一部分光束通过分光器 3进入偏振分光器 1)安装双频激光干涉仪测量系统各组件 ，测量 6，其 中平行于分光面的频率为 的线偏振光完全 系统如图2所示． 通过分光器6到达可动反射镜 8．从反射镜 7和 8发 2)在需测量的机床